中古 VEECO / EMCORE K465i #9411980 を販売中

VEECO/EMCORE K465i炉は、材料科学、ナノテクノロジー、その他の分野における多くの研究および製造プロセスのための強力で効率的なツールです。エッチング速度、異方性、選択性、エンドポイント制御などのパラメータを正確かつ再現可能に制御できるように設計された最先端のプラズマエッチングシステムです。コンパクトで垂直型のVEECO K465iは、最大3つのプロセスおよびソースモジュール、ロードロック、および必要なターボポンプおよび真空監視機能を備えた柔軟な構成を提供するため、多くの商業および実験室のアプリケーションに最適です。EMCORE K465iは、反応性イオンエッチング（RIE）システムであり、Arプラズマ、SF6プラズマ、酸素プラズマなどの主な反応で、さまざまな材料をエッチングすることができます。このユニットは、プロセス、レシピ設計、ソース材料の選択、およびメインポンプの起動の優れた制御を提供します。グラフィカルユーザーインターフェイス、パネルビュー表示、プログラマブルロジックコントローラは、エッチングの化学制御の側面に関する包括的な制御インターフェイスを提供します。K465iのコンポーネントには、静電チャック、キープアウトシールド、および統合されたイオンビームソースが含まれます。内部コンポーネントは、最大エッチング速度32nm/min、および高解像度エッチングを可能にする機能を備えた<20KVのエッチング処理をサポートするように設計されています。静電チャックとキープアウトシールドは、プロセスの再現性と精度を確保し、部品の読み込み時間と移動を削減するのに役立ちます。VEECO/EMCORE K465iは、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、蒸着など、幅広い材料蒸着サービスを提供しています。これらのサービスは、金属、合金、誘電体、半導体など、幅広い材料の堆積に使用できます。このプロセスはまた、エッチング異方性、特徴制御、および精度に対する優れた制御を提供します。VEECO K465iは、エッチングおよび成膜機能に加えて、ロードロック、専用イオン源、フォトイオン化機能など、プロセスを最適化するための多くのオプションを提供しています。ロードロックにより、再現可能で制御されたサンプルローディングが可能になり、専用のイオンソースによりエッチング速度が向上し、再現性が向上します。フォトイオン化機能は、プロセスの解像度を向上させ、サンプルの互換性を向上させるように設計されています。全体として、EMCORE K465iは、幅広い研究、製造、および産業用途に最適です。その柔軟な構成と幅広い機能により、非常に汎用性の高いマシンとなり、材料の設計と使用方法を変革する可能性があります。優れた機能、制御機能、再現性を備えたK465iは、プロセスの効率と精度を高めるための強力なツールです。