中古 VEECO / EMCORE K465i #9402610 を販売中

VEECO/EMCORE K465iデュアルロッドリアクターは、最先端の化学蒸着（CVD）システムです。このシステムには、基板ゾーンとソースゾーンの2つのゾーンがあります。基板ゾーンには、2つの基板を同時に扱うことができ、最大200mmまでの6つの基板を保持することができます。ソースゾーンにはキャリアガス供給が含まれており、材料を分解するための基板にリアクタントガスを導入し、望ましいフィルムまたは層を形成します。この原子炉は、低から高の蒸着率プロセスまで、さまざまな蒸着パラメータを持つ材料を処理することができます。基板レベルでの360度加熱により、優れた成膜均一性と柔軟性を提供します。基板は、プリセットまたはプログラム可能な位置プロッタによってソースから独立して管理されます。高精度なパターニングが可能です。VEECO K465iは、水平および垂直の両方の加熱ラインを使用して、優れた均一性と温度制御を実現します。このシステムは、ガスフロー、圧力、RF、バイアス電源制御などの高度なプロセス制御、および高度な安全機能を可能にします。EMCORE K465iは、その場で正確な化学組成分析を提供することができる特許取得済みの水晶結晶マイクロバランス（QCM）も備えています。K465iは、アルミニウムドープ酸化亜鉛（AZO）、アモルファスシリコン（a-Si）、カドミウムセレン（CdSe）など、高温材料や酸化物を含む幅広い先進材料を処理するように設計されています。これは、薄膜トランジスタ、太陽電池、および光検出器の開発と生産におけるアプリケーションのために設計されています。VEECO/EMCORE K465iは、コンパクトで信頼性の高いパッケージで、これまでにないレベルの性能、柔軟性、制御を提供する次世代原子炉です。簡単なセットアップと操作のための直感的なタッチパネルコントロールとユーザーフレンドリーなソフトウェアで、信頼性が高く使いやすいです。また、プロセス監視とカスタマイズされたツール制御のための包括的なラボツールも含まれています。