中古 VEECO / EMCORE K465i #9364537 を販売中

VEECO/Ecore VEECO/EMCORE K465iは、高性能の無線周波数（RF）プラズマベースの反応イオンエッチング（RIE）原子炉です。この装置は、高アスペクト比の構造のエッチング、パターニングポリマー、エッチングサファイア、金属の精密エッチングなど、幅広い用途に最適です。VEECOのK465i技術は精密および品質管理の完全なエッチングの結果を保障するように設計されています。これは、プラズマを励起するために無線周波数を使用する最新のプラズマベースのRIE技術に基づいています。プラズマの高度なRF形成は、正確で反復可能なエッチング結果を保証します。統合されたプラズマプロファイル制御技術により、プロセスを正確に制御できます。EMCORE K465iには、エッチングの均一性と高アスペクト比の構造を最大限に引き出す独自のEMCORE/Ecoreテクノロジーが搭載されています。これは、角度付きスロットを備えた電極チャンバーを備えた独自の電極設計によるものです。これは、はるかに大きなエッチング領域を提供します。また、効率的で反復可能なエッチングのための同社の特許取得済みの原子輸送機構も付属しています。K465iは、広範囲の周波数と圧力で動作するように設計されています。この範囲により、金属、セラミックス、ポリマーなどの幅広い材料を処理することができます。このユニットには、高度なオーディオ周波数電圧計（VFM）と圧力コントローラが装備されており、適切な制御と監視を保証します。VEECO/EMCORE K465iの自動ロードロックマシンは、治具やステップを使用せずに、迅速かつ再現可能な処理を提供します。このツールは、高速エッチングのための高い突入電流能力を提供します。アセットは、さまざまなウエハサイズと形状で動作するようにプログラムすることができます。VEECO/EMCORE/Ecore VEECO K465iは、エッチング技術の最新技術を搭載した信頼性の高いエッチング炉です。精密加工による高速エッチング工程向けに設計されています。ハイアスペクト比の構造のための角度付きスロット、高度なオーディオ周波数電圧計（VFM）、自動ロードロックシステムなどの機能を備えています。これにより、エッチング、パターニング、精密エッチングの幅広い用途に最適です。