中古 VEECO / EMCORE K465i #9352112 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、化合物半導体と光電子材料の統合技術開発と生産のために設計された、誘導結合プラズマ（ICP）原子炉の一種です。この最先端の技術は、RFパワーと流体パワーの洗練された組み合わせを利用して、高温プラズマと反応ガスを生成します。非常に低いレベルの音響ノイズと小さなフットプリントを備えているため、研究室、大学、工業製造での使用に適しています。VEECO K465iは、2つのRFソースと、13。56 MHzの75-600ワット、27。12 MHzの1-125ワットの出力範囲を備えています。それはまたユーザーがガスおよびイオン密度を正確に制御することを可能にする調節可能な力ランプ率を特色にします。このユニットは、特殊なシールド設計を使用して、磁気および磁気静電干渉の両方を低減し、生産プロセス用途において一貫した信頼性を実現します。EMCORE K465iは、最大13のガス、2つの液体、および1つの固体成分を使用するように設計されています。圧力、温度、イオンエネルギーなどのプロセス制御機能を備えており、幅広いプロセス条件で動作するため、ユーザーの柔軟性と制御が可能です。2つ目のRFソースを追加することで、成膜およびエッチング処理に容易に変更できます。K465iは、ランニングコストが低く、同クラスのシステムのスループットの最大3倍のプレミアムシステムです。完全に統合された設計により、メンテナンス作業が最小限に抑えられ、ユニットには高度な熱管理アルゴリズムが付属しています。熱勾配による熱の分散やプロセスガスの損失を防止します。全体として、VEECO/EMCORE K465iは、オプトエレクトロニクス材料処理のための高度なオンウェーハ技術を提供します。それは高い発電の多様性、最適化されたローディングおよび荷を下す時間および非常に小さい足跡を特色にします。研究と生産の両方に適した信頼性の高い高性能機器です。