中古 VEECO / EMCORE K465i #9315632 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、太陽電池、その他の太陽電池デバイス、フラットパネルディスプレイ、MEMSの開発のための薄膜の堆積用に設計された先進的なプロセスリアクターです。この原子炉は、統合された垂直マグネトロンとマイクロ波源を備えており、Prodigi™プロセスの設計に基づいています。VEECO K465iは、優れた蒸着均一性、高い蒸着スループット率、低い欠陥レベルを備えています。EMCORE K465iのマイクロ波源は、周囲環境に影響されない高出力プラズマプルームを瞬時に生成し、最適な蒸着速度、組成、層均一性を提供します。K465iのオープンカソード設計は、薄膜太陽電池の最適化に最適です。これは、垂直マグネトロンと堆積のための特別に設計されたマイクロ波源が含まれています。これにより、業界で知られている最も集中的なプラズマ下で高速な沈着速度で動作することができます。VEECO/EMCORE K465iは、低温薄膜のクリーンで再現性のある処理と正確な沈着を目的として設計されています。システムには、高度なプラズマ源と高度な制御エレクトロニクスが含まれています。高性能プラズマを生成し、薄膜蒸着の精度を高めることができます。制御エレクトロニクスは、正確なパルス幅、電力、およびプラズマガス制御を提供します。VEECO K465iには、包括的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も装備されています。このGUIは、蒸着パラメータの明確で詳細な概要と、蒸着プロセスのプラズマ写真のほぼリアルタイム表示を提供するように設計されています。EMCORE K465iは、コンパクトでポータブル、省スペースを念頭に置いて設計されています。このシステムは、実験室、工業、半導体生産など、さまざまな環境で動作することができます。また、低流量状態K465i自動シャットオフ機能、非常用不活性ガスフィラー、CO2消火器、モジュラー設計の封じ込め領域など、多くの安全機能を備えています。VEECO/EMCORE K465iの汎用性、信頼性、耐久性により、太陽電池、フラットパネルディスプレイ、MEMSの開発における薄膜の成膜に最適です。優れた蒸着均一性と高いスループット率により、ユーザーの生産性とスループットが向上します。オープンカソード設計、高度な制御システム、包括的なグラフィカルユーザーインターフェイス、安全システムが組み合わさり、優れた製品をお探しのお客様のための包括的な堆積プラットフォームとなります。