中古 VEECO / EMCORE K465i #9276024 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、半導体およびマイクロエレクトロニクスデバイス製造における材料の薄膜成膜に使用される低電力電子ビーム（eビーム）成膜炉です。クローズドループ型マグネトロンスパッタリングプロセスを採用したVEECO K465i炉は、研究開発や商業堆積プロセスに最適です。原子炉の国松型電子銃は、アルゴンガスのイオン化によりプラズマを生成し、望ましいフィルム材料の低圧スパッタ蒸着を可能にします。この電子銃には自動開口アライメントが装備されており、最適な沈着パラメータとスムーズな動作が得られます。原子炉は、チャンバー、基板加熱ベッド、電子銃、基板チャック、および4つの四極磁石のセットで構成されています。EMCORE K465i炉の真空室はステンレス製またはアルミニウム製で、真空ポンプとターボポンプを組み合わせて1 µtorr以下の基圧を実現しています。原子炉内には電子ガンアセンブリ、コレクター、磁気レンズを含む電子ビーム装置があります。このシステムは、速度の遅いスキャナのようにサンプルをスキャンする電子の薄く、急速に移動するビームを生成するために使用されます。基板加熱ベッドは、熱電対温度センサを備えた抵抗ヒーターで構成されています。これにより、温度制御ユニットを介して調節可能な400°Cの最大基板温度が可能になります。原子炉K465iまた、電子銃に関して上下に移動する平らな基板チャックを備えており、サンプル表面の均一で反復可能な加熱を提供します。原子炉の4極の磁石は、電子を誘導するために使用され、安定した集中ビームを形成します。これにより、堆積プロセスの均一性と精度が向上します。マグネトロンスパッタリングのパワーを制御することで、蒸着速度を変化させることができます。eビームマシンのハードウェアには、過熱保護、総電力監視、電圧電流安定性など、さまざまな安全機能が含まれています。VEECO/EMCORE K465i電子ビームリアクターは、さまざまな機能と機能を提供し、薄膜蒸着プロセスに最適なツールです。最適化された電子ビームスキャンと優れた均一性により、VEECO K465i炉は、研究、開発、および商業堆積の目的のために半導体およびマイクロエレクトロニクス製造にとって貴重な資産です。