中古 VEECO / EMCORE K465i #9274047 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、薄膜半導体の製造に使用される原子炉です。VEECO InstrumentsとEMCORE Corporationによってマイクロエレクトロニクスとオプトエレクトロニクス製造のための次世代ツールとして開発されました。VEECO K465iは、誘導結合プラズマ（ICP）と無線周波数（RF）電力を使用して薄膜を様々な基板に堆積させるシングルチャンバーのハイブリッドバージョンの原子炉です。シリコンベースの化合物からエキゾチックな金属絶縁体の化合物まで、幅広い種類の材料を堆積することができる非常に汎用性の高いツールです。EMCORE K465iは、基板サイズ、プロセス温度、圧力レジーム、ガス混合物、およびRFおよびICPパワーのさまざまな組み合わせに対応するように簡単にプログラムできる完全自動化システムです。また、圧力、温度、RF、 ICP電力、ガス流量などのプロセスパラメータを現場で監視できます。K465i原子炉は、プロセスチャンバーやガスボックスなど、さまざまなコンポーネントを組み合わせています。プロセスチャンバーには、蒸着プロセス中の基板をサポートするために使用されるサセプターと、RFコイルとプロセスガスが含まれています。ガスボックスには、ガス供給ユニットと様々なバルブとバルブコントローラが含まれています。VEECO/EMCORE K465iのモジュール構成により、オプトエレクトロニクスデバイスなどの高付加価値、低容量の製品から大量の低コストの電子機器まで、さまざまな生産プロセスに合わせてカスタマイズできます。VEECO K465iのその他の利点には、幅広いプロセス統合オプション、迅速で簡単なツールの切り替え、プロセス制御と安定性の向上、生産歩留まりの向上などがあります。全体として、EMCORE K465iは薄膜半導体製造のための革新的で強力なツールです。堅牢で信頼性が高く、使いやすく、汎用性の高い構成と高度なプロセス制御機能により、多種多様な生産ニーズに最適です。