中古 VEECO / EMCORE K465i #9273446 を販売中
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VEECO/EMCORE K465iは、半導体、光学、およびその他の高度な微細加工アプリケーションの製造における高精度処理のために設計された、高度な電子ビーム炉です。4軸モーションコントロール装置など、さまざまな強力な機能強化を備えており、制御された正確に調整されたスキャンパターンを可能にします。結果として得られる高速蒸着およびエッチング処理により、非常に正確で信頼性の高い製造結果が得られます。VEECO K465iは、先進的なEビーム技術を活用して、高エネルギー電子の強烈な集中ビームを生成します。このビームは、その後、一連のドリフトチューブを介して加速され、そこでガス源との相互作用を余儀なくされます。その材料は電子ビームによって励起され加速され、その後基板材料に堆積する反応生成物が生成されます。このプロセスにより、非常に微細な蒸着制御が可能になり、最終的にはより高い歩留まり、優れた均一性、および欠陥率の低下につながります。EMCORE K465iは、最小ビーム径1 μ mの500 mAまでの高電流の範囲で動作でき、1時間あたり最大10ウェーハのスループットを達成できます。高度な4軸モーションシステムは、最小ビームアライメント許容誤差0。5 μ mで、厚さ0。015 mmまでの直径6インチまでのウェーハを収容することができます。このユニットは、プラズマ強化またはポリマーコーティングプロセスを可能にするように構成することもできます。安全面では、原子炉K465i放射線への曝露から人員を保護するために様々な対策を講じています。これらには、高度な安全インターロックマシン、電源障害シャットダウンツール、および水温と圧力を監視するための自動化された資産が含まれます。要約すると、VEECO/EMCORE K465iは信頼性が高く精密なEビームリアクターであり、さまざまな先進的な製造アプリケーションで高精度な処理を行うために設計されています。強力な4軸モーションモデル、高スループット、最大電流500mAにより、精密機器の製造に最適です。さらに、高度な安全対策と自動監視装置により、信頼性と安全性を確保します。
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