中古 VEECO / EMCORE K465i #9241368 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、半導体材料の特性を研究および分析するための先進的な誘導結合プラズマベースの分析ツールです。この実験室グレードの原子炉は、研究用途向けに設計されており、さまざまな半導体材料の測定、分析、実験に使用できます。VEECO K465iは、ディープエッチング、エッチング、成膜、アニーリング実験の電極レベル処理に最適化された、ハイピーク電力、高圧誘導結合プラズマベースの原子炉です。ユニークな円導電アンテナジオメトリを使用して、プラズマカップリング効率と基板へのチャンバへの電力伝達を強化します。EMCORE K465iには、革新的な二重圧力構造と2つの独立して維持された圧力領域があり、優れたプロセス再現性と堅牢な機器性能を実現しています。高密度ソース最適化および臨界次元習慣制御アプリケーションのための高エネルギー密度プラズマを生成することができます。これらのプラズマは、プラズマ化学と組成を正確に制御するために、リアルタイムレーザーアブレーション干渉分光計で継続的に監視することができます。さらに、K465iは高スループット生産のために設計されており、効率的な材料プロセス分布と均一性のための広い面積、平行板電極が含まれています。VEECO/EMCORE K465iは、厳格な研究要求を満たすための強力な機能と機能を備えています。これらの機能には、精密かつ再現可能なプロセス制御のための調整可能な圧力加湿および避難システム、高度な精密プロセスタイミングのための線形LFM（線形周波数変調）ジェネレータ、および計測機能の完全なスイートが含まれます。この原子炉は温度バランスの取れたチャンバーを備えており、最適な性能を得るために一貫した基板とプロセス温度を確保しています。最後に、VEECO K465iには、迅速かつ効率的な実験セットアップと制御のための完全なオートメーションシステムが含まれています。直径1。27cmの円形ウエハと、より大きなデバイス用の最大cm²基板の両方に対応できる、コンピュータ制御のロボットサンプルハンドリングユニットを搭載しています。また、Windowsベースの独自のオートメーションマシンにより、簡単なデータ収集と制御が可能です。また、統合された光学ツールは、実験特性評価のための詳細なイメージングと分析を提供します。全体として、EMCORE K465iは、幅広い機能と機能を備えた強力で高度なプラズマベースの分析ツールです。これは、半導体デバイスの研究および分析のための高度かつ再現可能なプロセスを必要とする研究者や技術者に最適なツールです。