中古 VEECO / EMCORE K465i #9233939 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、半導体産業で使用するために設計されたイオン注入ツールです。様々な元素のイオンを利用して基板の物理的および電気的特性を変更する汎用性の高い高スループット炉です。この原子炉は、0。5〜750 KeVの広いエネルギー範囲を利用しており、/cm2/minで1。25e12の埋め込み率があります。これにより、埋め込まれた要素の種類だけでなく、基質へのインプラント線量と深さを正確に制御することができます。原子炉は真空チャンバー、イオン源、シャッター、検出器システムで構成されています。真空チャンバーには1x10-8 Torrの真空が含まれており、基板にイオンを埋め込むことができます。イオン源には様々なエネルギーでAr、 Cs、 Xe、 Nなどの元素が含まれており、イオンを正しく埋め込むことができます。シャッターはイオンのビームを制御し、正確なスキャンと正確な埋め込みを保証します。検出器システムは、正確なスキャンを実現するためにプロットパターンを監視し、埋め込む領域の正確な測定を可能にします。VEECO K465iは、ツールの適切な動作を維持するのに役立つアナログファジーロジックタイプコンピュータコントローラです。コントローラーはまた望ましい適量を達成するためにビーム力および現在のプロフィールを微調整するのに使用されています。また、コントローラはシステム全体を監視し、イオン加速度を自動的に調整します。このツールは、さまざまな非同期インプラントおよびシーケンシャルインプラントのオプションを可能にするマルチチャンネルウェハマッパーを備えています。ファインラインスキャン、2D-overlays、オフセットインプラントなどの高度なスキャン戦略を実現する高分解能イオン光学システムを搭載しています。ウェーハ全体に均一に埋め込むことも可能です。このツールは、迅速なターンアラウンドタイムと簡単なメンテナンスのために設計されています。安全な操作のために、密閉可能なチャンバー蓋、緊急ボタン、ベルトコンベヤーロックなどの安全機能が含まれています。このツールはメンテナンスを念頭に置いて構築されており、複数のコンポーネントに簡単にアクセスでき、部品の交換が容易です。このツールはまた、適切な機能を確保するためにインプラントのオンラインメンテナンスとドキュメントを備えています。EMCORE K465iは、半導体生産に適した高度な高スループット炉です。調節可能なビームエネルギー、高分解能イオン光学、多機能マッパーにより、K465iはさまざまなアプリケーションのインプラント用量とインプラント深さを正確に制御することができます。このツールはまた、信頼性の高い操作のための簡単なメンテナンスと安全機能を備えています。