中古 VEECO / EMCORE K465i #9229288 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、液相エピタキシー（LPE）および酸化物/窒化物系蒸着用に設計された金属化学蒸着炉（MOCVD）です。VEECO K465iは、LED、内蔵光学、薄膜トランジスタ（TFT）などの産業用多層アプリケーションに最適なハイスループットツールです。個別に制御されたガス前駆体とダイナミックな反応ゾーンを備えたカスタマイズされたガス配分装置を備えており、成膜の均一性を最大限に高めます。また、スループットと歩留まりを最適化するための自動プロセス制御ソフトウェアも備えています。EMCORE K465iは、4インチ×2インチの原子炉管を備えたスプリットチューブ垂直MOCVDリアクターです。水平および垂直のガス流量を利用して、ウェーハ全体で均一な多成長を実現します。基板加熱は最大700°Cに達することができ、温度は直接加熱システムと組み込まれた温度センサーを介して均一性を維持することができます。その3段階のターボポンプは、活性種の凝縮と効率的な反応ガス供給のための高水準の真空を提供することができます。K465iはさらに、高精度の自動ウェハ搬送ユニット、原子炉の圧力と流れを制御するための自動圧力バランシングマシン、カスタマイズされたリフトメカニズム、および精密な蒸着制御のための自動ガスシーケンシングで補完されます。プリズム結晶、現場モニタリング、自動シャドウマスキング、分光ツールなど、高いスループットと高品質のハードウェアコンポーネントを備えています。VEECO/EMCORE K465iには、環境中のガス汚染物質を低減するための排気スクラバーも含まれています。VEECO K465iは、大量の均質な層を正確かつ効率的に生成するための堅牢で反復可能で信頼性の高いツールを提供するように設計されています。その高度な機能により、費用対効果の高い汎用性の高いMOCVDアセットをお探しのお客様に最適です。