中古 VEECO / EMCORE K465i #9227000 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、さまざまな分野で使用するために設計された高性能エッチングリアクターです。ガス化学と集中電子爆撃を組み合わせた低圧プラズマ装置です。この原子炉は中空陰極作動装置で、優れた性能を備えた反復可能で均一なエッチプロファイルを提供します。VEECO K465iは、最大4つの3インチウェーハを同時に処理できるマルチウェーハエッチリアクタリグです。ロードロックモジュールとウェハローディングおよびアンロード用のカセットトレイを備え、自動ドライブとインターフェース付きエンドポイント検出器を備えています。この原子炉は電界放出電子銃の構造を備えており、ウェハレベルで静電シールドを提供することができます。ガスフローの制御とエッチングの均一性は、ユーザーが設定し、調整することができます。また、バッチディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）も可能です。このDRIEは、圧力と電力条件の範囲にわたってアスペクト比で均一なエッチング速度で、傾斜したサイドウォール角度を作成します。EMCORE K465iは、高度なマルチガス制御システムを使用して、プロセス認定に必要な時間を短縮し、メンテナンスコストを削減します。マルチガスコントロールに加えて、複数のレシピを保存し、異なるアプリケーションに使用することができます。また、ケミカルフリーゾーンを備え、インラインシャッター方式で排気の背圧を制御します。この汎用性の高いデバイスは、システムの安全性と効率性を維持するアクティブな排出量モニタリングを備えています。その低圧プラットフォームは、エッチバリアと完全な基板高さ制御を利用して、均一なエッチングと最小のタイムアウトとダウンタイムを作成します。K465iは信頼できる、費用効果が大きいエッチングの解決を捜すユーザーのための完全な選択です。その高性能と使いやすさの組み合わせは、さまざまなアプリケーションに最適です。