中古 VEECO / EMCORE K465i #9172349 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、さまざまな薄膜プロセスを実行するために設計された化学蒸着（CVD）原子炉の一種です。このタイプの原子炉は、コールドウォール設計に基づいており、主にオプトエレクトロニクス/フォトニクス関連の産業で使用されています。VEECO K465iは、CMOS、ガラス、SiC、 GaAsなどの様々な基板上に有機および無機材料を堆積するための幅広い機能を備えています。原子炉によって支えられる基質のサイズは8インチまでです。ボディ、プロセスチャンバー、サセプター、ガス供給システム、電源やコントローラのホストなど、さまざまなコンポーネントで構成されています。EMCORE K465iのアルミニウムボディは機械サポートを提供します、プロセス部屋はリアクタントおよび反作用プロダクトを含み、避難するのに使用されています。調節可能なサセプターを反応チャンバーの上部に取り付けて、蒸着プロセス中に安定した熱炭素基板を保持します。ガスデリバリーシステムは、マスフローコントローラ（MFC）とフローメーターで構成され、前駆体やその他のリアクタントガスの正確な計量と制御を提供します。電源のクラスタは、原子炉の加熱素子を通して電流を制御し、コントローラは所望の温度を提供する責任があります。最後に、K465iチャンバーには、チャンバーガスの組成を決定するためのQMS （quadrapole mass spectrometer）などの多数のモニタリングシステムが装備されています。全体として、VEECO/EMCORE K465i炉は、オプトエレクトロニクス/フォトニクス業界向けに手頃な価格で信頼性の高いCVD蒸着プロセスを提供します。VEECO K465iは、幅広い機能と調整可能なコンポーネントを備えており、多種多様な複雑な薄膜プロセスに適しています。