中古 VEECO / EMCORE K465i #9045105 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、高効率プラズマ処理装置の近代的な進歩を象徴しています。この洗練された産業用リアクターは、VEECOとEMCOREという2つのマーケットリーダーの優れた性能と機能を兼ね備えており、包括的で完全に統合された機器を作成して、さまざまなエレクトロニクスおよび材料アプリケーションのプロセススループットを劇的に向上させます。VEECO K465iは、高いスループット・レートでエッチング（誘電性、不動態化金属なし）および蒸着（CVD）プロセスの全範囲を実行できる、堅牢で信頼性の高い処理能力を提供するように設計されています。堅牢でオープンな設計により、カスタムプロセスの開発と制御に最大限の柔軟性を提供し、急な学習曲線を確保し、市場投入までの時間を最小限に抑えます。EMCORE K465iは、2つのユニークな加工チャンバーを備えた革新的な特許取得済みの設計を特徴としています。これらのチャンバーには、最大512アンプと最大500Wの電力を供給するRF導波路を提供できる複数の電磁源コイルが収容されています。この強力なソース構成によって提供される多目的な処理の柔軟性により、この原子炉は、従来のチューブ原子炉をはるかに超えた速度で優れた均一性で、最大300mmの基板サイズを処理することができます。熱電冷却チャンバーは、エッチング時に基板ウエハ間の悪影響を防ぎ、より高い基板歩留まりとスループット率を実現します。さらに、クローズドループのプロセス制御システムは包括的なリアルタイムのプロセス制御と監視を提供し、完全な最終製品のカスタマイズを保証します。このクローズドループ監視ユニットは、人間のミスや予期しない材料特性による偶発的なプロセスの漂流を防ぎます。K465iは高度な診断と機械保護も備えています。高度な診断センシング技術により、ユーザーは、仕様内で、プロセスが実際に何をしているかを確認することができます。これは、ダウンタイムを削減し、生産コストの抑制と歩留まりの最適化をサポートするのに特に役立ちます。さらに、このツールの革新的な安全システムは、高い電力密度で動作していても安全で信頼性の高い動作を保証します。VEECO/EMCORE K465iは、幅広い産業加工アプリケーションに究極のコスト効率を提供するため、先進的な原子炉技術の優れた例です。コンパクトなフットプリント、高い柔軟性、資産の安全性により、プラズマ処理のニーズに最も適しています。