中古 VEECO / EMCORE K465i #9043781 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、化合物半導体の研究、開発、製造のために設計された高性能の分子ビームエピタキシ（MBE）ツールです。この原子炉は、高速光電子IC、データ通信デバイス、センサ、LEDデバイスなどのアプリケーション向けに、AlGaAs、 InGaAs、 InPなどの幅広い成長能力を提供します。VEECO K465iは、MBEリアクタのラインでVEECOからの最新の提供であり、高度で高精度なMBEツールをお探しの方に最適です。EMCORE K465iは、ウェーハ全体に沿って均一な環境を提供するために、温度とガス組成を正確に変更することができる高容量のマルチゾーン大気制御装置を装備しています。このシステムは、昇華とその後の成長の間に基板に最適な環境を提供し、また欠陥の形成を最小限に抑えるのに役立ちます。K465iは、基板の動きを正確にするための4点サンプルステージも備えています。さらに、Knudsenセル、eビーム、エフユージョンセルなどのソースシステムも選択できます。VEECO/EMCORE K465iは5 mTorrのベース圧力を提供しますが、システムには1 mTorrや0。1 mTorrなどの低圧用のターボ分子ポンプを装備することができます。この低基地圧は、成長中の汚染の可能性を低減するのに役立ちます。VEECO K465iには、真空サンプルとシャッターコントロールも含まれており、プロセスの再現性を向上させます。このユニットには、簡単で直感的な制御のための専用ソフトウェアが付属しており、ソフトウェアはMBEマシンを操作するためのグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。EMCORE K465iは高度でモジュラー性の高いツールを提供しており、成長の主体を正確に制御する必要があるアプリケーションに最適です。この原子炉は、さまざまな用途のためのアクセサリーのフルレンジを装備することもできます。これには、超清浄成長のためのクライオシャワーシステム、蒸着監視システム、および再現性の高い状態維持のためのロードロックが含まれます。K465iは、生産や研究に最適な汎用性の高いMBEツールです。