中古 VEECO / EMCORE K465i #9012796 を販売中
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販売された
ID: 9012796
ヴィンテージ: 2010
MOCVD system
GaN
Max temp 1250C degree set point
8 PSU
DRT (bow, real temp) (2) Real temp
8 x MO lines
NH3, SiH4
(2) MO concentration control
(2) Ebara process pump
Automated loading chamber
Nexus control system
H2 + NH3 gas monitor
N2+NH3 POU purifiers
(2) Johson Matthey V-480 H2 Pd cell purifiers
(2) hygrometers
(6) water cooled MO baths
Fully automated metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) system designed for the production of high-brightness light-emitting diodes
Can accommodate up to (45) 2" substrates (or 1x8") in one process
Uses FlowFlange technology designed to create a uniform alkyl and hydride flow across all wafers
Temperature uniformity by (3) separate heating zones controlled by RealTemp200 systems and additional pyrometer
Wafer curvature is monitored by dedicated deflectometer
Fully robotized carrier handling tool allows for continuous operation
All manuals and schematics for reactor from original Veeco purchase
(3) brand-new wafer carriers/susceptors
K465i growth chamber and Uniform Flow Flange assembly
Rotary Robot Arm Transfer assembly (robot, end effector, robot chamber, buffer chamber, gate valves, controller, etc.)
Laminar flowhood wafer loading platform
Complete gas panel (NH3/N2/H2, MO source lines, SiH4 source line), injector block
Ferrofludic turbodisc rotation assembly
Turbodisc controller
(2 sets) Veeco K465 heater assembly and filaments (1 installed in chamber, 1 full set as a spare)
(2) Ebara ESA-25D process pumps
Load lock pump
(2) high-capacity particle filter assemblies.
(2) particle filter elements
Reactor pressure throttle valve
(8) DC power supplies for filaments
Eurotherm controllers
Reactor control CPU, Servo CPU, (2) PC monitors, keyboard and mouse
(2) RealTemp 200 Modeling System with dedicated CPU
(1) DRT-210 Real-Time Monitoring System with spare CPU
(4) Lauda Model 215 bubbler baths
(2) Lauda Model 235 bubbler baths
(2) Lytron Heat Exchangers for reactor
Growth chamber baratron gauge
(2) – Piezocons
Flow Flange Lift Cart
H2 Pd purifier cabinet model: HP 200/400 V-Purge
NH3 Purifier - Aeronex 10M
N2 Purifier - Aeronex 10M
Hygrometer Assy 2-channel Panametrics
CM4 Gas monitor
Spare Baratron (pressure manometer) and MFC
(3) spare Eurotherm controllers
(2 cases, 1 partial) MassVac filter elements
2010 vintage.
VEECO/EMCORE K465i中電流電子ビーム（EB）ウェーハ技術炉は、半導体やディスプレイ産業で薄膜の製造に使用される最先端の装置です。フォトリソグラフィ、電子ビーム（EB）リソグラフィ技術、蒸発技術を組み合わせて使用しています。この原子炉には、電子源、ビームエネルギー供給、蒸発源、マスクレスリソグラフィ段階が装備されています。VEECO K465iは、最大600mAの大電流プロセスを処理するように設計されています。このハイエンド技術により、エンジニアは1つの生産ステップで複数の基板上でパターニングと薄膜成長の均一性を達成することができます。また、電子蒸着材料、金属、多結晶膜など複数の材料を処理することができます。EMCORE K465iには直流（DC）フィルタリング技術が搭載されており、アークから保護され、プロセスの一貫性が向上します。K465iの電子源は、ガンベースの電子エミッタで、プログラム可能な定電圧電源によって給電されます。これにより、出力リップルなしで安定した電力が保証されます。VEECO/EMCORE K465i EBウェーハ技術炉は、内部部品の汚染を防止するためのドアを含む真空タイトな構造を提供します。さらに、リアクターには自動ローディングとアンローディングシステムが搭載されており、効率的な運転のためにウェーハがプリロードされたトレイが装備されています。VEECO K465i EBウェハテクノロジーリアクターには、プロセス温度を均一にする温度制御ユニットが内蔵されています。これにより、処理結果の劣化や熱暴走の発生を防ぎます。また、信頼性の高いコントローラマシンと直感的なユーザーインターフェイスを備えており、パラメーターを迅速かつ簡単に調整できます。結論として、EMCORE K465i中電流電子ビーム（EB）ウェーハ技術原子炉は、薄膜を製造するための高度で信頼性の高いツールです。洗練されたろ過技術、信頼性の高い電子源、温度制御資産を提供し、薄膜回路などの材料を製造するための理想的な中流電流ウェーハ技術炉となっています。
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