中古 VEECO / EMCORE K465i #293608318 を販売中

VEECO/EMCORE K465iリアクターは、光電子材料の製造に使用するために設計されたマルチコート、ハイパワー光学エピタキシャル成長装置です。このシステムは、半導体技術産業における世界的に有名な2人のイノベーターとのパートナーシップを成功させた結果です。VEECO K465iは、最大1625°Cの熱処理が可能なセラミックスセプターと、ステンレス製の大型反応チャンバーを備え、多種多様な製造プロセスに適しています。このユニットは、GaAs、 InP、 AlGaAsなどの多数の基板を処理することができ、MBEおよびMOCVDプロセスの両方に多目的で均質な蒸着環境を提供します。また、内部ガス流量制御、ウェーハ位置センサ、自動オンマシンクリーニング、ホットウォール構造など、エピタキシャルの高速かつ正確な成長を促進するために設計された多くの特殊な機能を備えています。EMCORE K465iは、独自のデュアルステージリフトを搭載した先進的なモーションマシンによってサポートされており、ステッピングモーターを使用して、サセプターの2軸または3軸の動きとその場でのパターニングを可能にします。さらに、イオン注入は、統合されたイオン源ユニットを介して達成することができます。K465iには堅牢な制御ソフトウェアスイートが付属しており、ユーザーは簡単に原子炉のチャンバー条件、プロセス、レシピをプログラムして制御することができます。このソフトウェアには、リアクターチャンバーとウェーハ条件のリアルタイム監視を可能にする高度な信号解析ツールも含まれています。全体として、VEECO/EMCORE K465i Reactorは、高性能で市場対応可能な光学系をお探しのお客様に、信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションを提供します。沈着パラメータをカスタマイズするための多数のオプション、および強力な安全性と信頼性プロファイルを備えたこのツールは、幅広い光電子材料や部品の製造に最適です。