中古 VEECO / EMCORE K465i #293587159 を販売中

VEECO/EMCORE K465iは、半導体材料やデバイスの製造に使用される原子炉の一種です。これは、さまざまな用途に高品質で信頼性の高い結果を提供する化学蒸着（CVD）装置です。プロセスチャンバー、2ゾーンの石英昇華ソース、デュアルマス、および2つのVEECOトーチモードを1つのシステムに統合します。プロセスチャンバーは寸法が2フィートで、VEECO K465iユニットの主な圧力容器です。チャンバーには真空機、プロセス圧力検出、制御機能が装備されています。ソースと排気システムで構成される石英昇華源は、チャンバーの内側と下部にあります。2ゾーンの水晶結晶化源は、チャンバー内に配置された材料を蒸発させ、材料が加熱されるにつれて均一な温度分布を生成します。これにより基板面積全体に均一な温度が得られ、フィルムの均一性が向上します。EMCORE K465iのデュアルマスツールは、1つのゾーンでの高温反応と別のゾーンでの低温反応を可能にします。EMCOREトーチモードは、磁場を使用して、安定した圧力と温度を維持しながら、前駆体ガスの均一な流れを作り出します。これにより、正確な結果を得ることができます。K465i原子炉はまた、基板温度、圧力、およびガスクロマトグラフの測定値の広い配列を監視する能力を持っています。さらに、アセットには、最適なプロセスパラメータの自動調整を提供する制御圧力範囲が装備されています。このモデルには、高度なデータアーカイブ、グラフ、および画像処理機能も含まれており、ユーザーはプロセスのパフォーマンスを一目で監視できます。結論として、VEECO/EMCORE K465iは、さまざまな製造アプリケーションに信頼性の高い結果を提供する効率的で効果的な原子炉です。プロセスチャンバー、2ゾーン水晶昇華ソース、デュアルマス機器、およびVEECO/EMCOREトーチモードを備えています。その監視機能と高度なデータ管理機能により、ユーザーはプロセス結果が一貫して正確であることを保証できます。