中古 VEECO / EMCORE K465i #293585758 を販売中

VEECO/EMCORE K465i Reactorは、半導体やその他の産業で使用されるデバイスの量産用に設計された最先端のマテロ電子生産ツールです。この原子炉は高電圧プラズマを利用しており、イオン埋め込み装置の製造が可能である。このツールにはアクティブエリア制御（AAC）があり、オペレータはインプラントのパラメータを制御できます。この設計はまた、充填の優れた再現性と均一性を提供します。VEECO K465i炉は、（+）75と（-）75 kVの間の高電圧で動作するように設計されています。これにより、様々な材料や温度に幅広いイオン注入を提供する高イオン加速を可能にします。ウェーハを多軸スキャンすることで、多種多様なアクティブエリア形状を実現します。また、高真空条件で優れたウェーハ清浄性を提供するために、XP-27蒸着システムとDC-450避難室を利用しています。EMCORE K465iリアクターには、紫外線イルミネーション用のEnhanced Photon Source （EPS）も提供されています。このソースは、シリコン、GaAs、 GaNなどの材料の環境結晶化プロセスの広い範囲を可能にします。このツールは、最大8,000 イオン/cm2のピークイオンフラックスも備えており、最小のサブミクロン機能サイズでも高いスループットを実現します。リアクターK465iまた、ツールの動作の高度な精度を容易にする自動ウェーハトラッキングを提供します。ウェーハの正確な空間位置を特定できる広範なウェーハマッピング機能を備えており、露出ごとに最適なパラメータを自動的に選択します。これにより、事前校正に必要な時間が短縮され、最大歩留まりが保証されます。VEECO/EMCORE K465iリアクタは、セットアップと操作プロセスを簡素化し、プロセスパラメータ、機器診断、およびその他の主要なパフォーマンス指標に関する信頼性の高い情報を提供する高度な組み込みユーザーインターフェイスを備えています。このツールには、オペレータに操作のリアルタイム表示を与えるソフトメンテナンスシステムも付属しており、サポートが容易になります。全体として、VEECO K465iリアクターは優れた信頼性の高い生産ツールであり、大量のウエハの工業生産に最適です。その幅広い機能により、大量生産と再現可能な品質結果に最適です。