中古 VEECO / EMCORE K465i #293585751 を販売中

製造業者
VEECO / EMCORE
モデル
K465i
ID: 293585751
ウェーハサイズ: 4"-6"
ヴィンテージ: 2010
MOCVD System, 4"-6" Process: GaN 2010 vintage.
VEECO/EMCORE K465iは先端材料の高性能生産のために設計されたギガParsec™炉の装置です。半導体デバイスや光学部品から太陽電池、LED照明まで、様々な用途の先端材料を効率的に生産します。VEECO K465i炉は、パフォーマンスと信頼性を向上させるために設計された高度なスケーラブルなプラットフォーム上に構築されています。このギガParsec™炉ユニットは、優れた制御とデータ収集能力を誇る高度なアーキテクチャを備えています。これは、加熱グラファイトサセプター、高精度の4軸モーションマシンと完全な赤外線加熱コイルで30までの異なる先進材料を処理することができます。原子炉には高度な制御ツールが装備されており、最良の材料品質を確保するためにプロセスパラメータを調整します。これは、高精度で再現性のあるサセプター温度、グラファイトガス流量、総圧力を自動的に制御することによって達成されます。さらに、最適なエッチング工程の性能に必要な均質なガス流量条件には、ガス注入アセットを利用できます。EMCORE K465iには、グラファイト・オン・グラファイトの摩耗を制御および制限するように設計されたグラファイト摩擦モデル(GFS)もあります。これにより、長い製品寿命と高度な材料の再現可能な生産が保証されます。K465i炉は、高性能で信頼性の高い運転とメンテナンスフリーの操作と使いやすさを組み合わせることで、ユーザーに優れた生産プロセス経験を提供するように設計されています。この高度な原子炉は、危険な環境でも動作を保証する高度な安全機能を備えて設計されています。さらに、この装置は、標準的なCFCフリー冷媒を使用するように設計されており、世界的なカーボンフットプリントを削減しています。全体として、VEECO/EMCORE K465i炉は堅牢で信頼性が高く効率的な生産システムです。この原子炉は、生産性、精度、再現性に重点を置いた先進的な材料産業の要求に応えるように設計されています。
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