中古 VEECO / EMCORE K465i GaN #9180276 を販売中

VEECO/EMCORE K465i GaN（窒化ガリウム）原子炉は、研究者が化合物のユニークで有益な特性を使用して実験を行うことができるように設計された特殊な原子炉です。K465i炉は、さまざまなデバイス用途で高品質のIII-V窒化物複合材料層の効率的な堆積を可能にします。最適化されたプロセス制御能力を備えているため、研究者は材料の沈着歩留まりと沈着速度を高めながら、ストレスを軽減し、プロセスのより良い制御を可能にします。K465i原子炉は、幅30cm×高さ5cmの環状型反応室を使用して、2段階または3段階の構成で構築されています。これにより、誘導結合プラズマ（ICP）またはDCマグネトロンスパッタリングを使用して、幅広いプロセスアプリケーションをサポートできます。さらに、K465iには、効率的なガス供給システムと反応性ガス流量制御の革新的な組み合わせが装備されており、正確なプロセス制御が可能です。K465iのユニークな設計は、材料応力を最小限に抑えた高品質の材料沈着率と均一性を研究者に提供します。最適化された層のため、この原子炉では20nm以下のフィーチャーサイズを実現できます。さらに、研究者は独自の高度なプロセス制御パッケージを使用してプロセスレシピを微調整し、プロセスの安定性を維持することができます。K465iはまた、前例のないレベルのプロセスオートメーションとプロセスモニタリングを提供しています。包括的なソフトウェアパッケージにより、再現可能なプロセスと自動化されたプロセス制御が可能になります。これらのツールは、完全なプロセスを開発するのにかかる時間を最小限に抑えるために使用できます。K465i炉は、窒化物III-V材料に見られる研究と応用の幅を提供する唯一の商業的に利用可能な原子炉です。高度な制御、自動化された監視、および最適化されたガス供給システムにより、この最先端の原子炉は、革新的な窒化物材料半導体デバイスの研究開発に最適です。