中古 VEECO / EMCORE K465 #9152831 を販売中
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ID: 9152831
ウェーハサイズ: 2"
ヴィンテージ: 2008
MOCVD System, 2"
Real temp 200 monitoring system
DRT-210 Real time In situ monitoring system
Curvature of Epi wafer
Layer thickness
Refractive index
Wafer pocket temperature
Wafer reflection compensation
Source configuration:
MO Source:
(1) Set TMGa
(2) Sets TEGa
(1) Set TMAl
(1) Set Cp2Mg
(2) Sets TMIn
(1) Set Lauda RE235
(4) Sets Lauda RE215 thermal baths
Currently installed
2008 vintage.
VEECO/EMCORE K465は、一般的に半導体材料の製造に使用される電気化学反応器の一種です。原子炉本体とソースドレインアセンブリの2つの部分で構成されています。原子炉本体は金属コアで作られており、るつぼ、熱電対、酸素センサー、水晶、ファラデーカップが含まれています。これにより、ユーザーは一貫した熱環境を維持できます。ソースドレインアセンブリは、カソード、アノード、電極、および二次エミッタで構成されています。VEECO K465リアクタは、アノードを介して体に必要なリアクタントを含むフィードソリューションを導入し、直流電源を追加することによって動作します。DC電源は、イオンが陰極から陽極に移動することを可能にし、圧力と温度の増加で電気分解プロセスを形成します。るつぼのリアクタントに適用されるエネルギーが増加すると、リアクタントは、所望の製品セットが得られるまで一連の反応ステップを経る。電気化学反応は、ファラデーカップ、熱電対、および酸素センサーによって密接に監視および制御されます。ファラデーカップは、原子炉によって生成された電子の量を追跡し、反応環境が適切に維持されることを保証します。熱電対は反応物質の温度を測定するために使用され、反応を停止する正確な瞬間を制御するために二次エミッタが使用されます。酸素センサーは反応によって放出されたガスを検出し、ユーザーに危険な状態を警告します。EMCORE K465には、反応中の異常な活動からユーザーを保護するために設計された複数の安全機能があります。それに使用法の間に欠陥を検出するか、または診断できる自己診断プログラムがあります。反応室には、過熱プロテクターと圧力リリーフバルブが装備されており、圧力の急激な変化を防ぎます。原子炉が過熱し始めたり、反応が終わったりすると、電源も自動的に遮断されます。K465は、最も要求の厳しい半導体アプリケーション向けに特別に設計された先進的な原子炉です。それは最高品質の製品を保証する反応パラメータを正確に制御することができます。その安全機能は、ユーザーに信頼性の高い安全な操作を提供します。
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