中古 VEECO / EMCORE K465 #293768292 を販売中
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ID: 293768292
ヴィンテージ: 2007
MOCVD System
(2) Dry pumps
(4) Boxes
(2) Exhaust exchangers
Filter
Frame
Growth chamber
L Chamber
2007 vintage.
VEECO/EMCORE K465は、III-VやII-VI材料などの化合物半導体のエピタキシャル増殖用に設計された高効率、超薄膜リアクターです。高度なプロセス制御とモニタリングシステムを備えており、精密かつ再現性のある蒸着プロセスを可能にします。VEECO K465は、クローズドチューブ設計を採用しており、汚染を最小限に抑えた急成長環境を提供し、光学的および電気的に優れた層で、転位が少なくなります。また、蒸着中のクリーンなプロセスチャンバー雰囲気を維持するポンプ装置と、チャンバー内の圧力と流量を正確に制御するためのガスマニホールドを備えています。EMCORE K465の高度なプロセス制御システムは、基板温度、プロセス圧力、ガス流量、およびその他のパラメータのトレーニングと設定を自動化することによって、蒸着プロセスを合理化します。これにより、異なる基板やガスを使用しても、より高いレベルの再現性が保証されます。また、フィルム蒸着速度をリアルタイムで監視することができ、プロセス制御と最適化された結果を得ることができます。K465原子炉は、優れたプロセスの均一性と再現性を提供し、最高品質のエピタキシャル成長層をもたらします。フットプリントが小さい高い封じ込め能力を備えているため、スペースが限られたラボに最適です。複数の反応チャンバを並列に使用してスループットを向上させることもできます。さらに、VEECO/EMCORE K465は、低い運用コストとエネルギー消費で優れた価値を提供します。高度なプロセス制御マシンは、迅速かつ一貫したプロセスサイクルをもたらし、プロセスの繰り返しが少なく、エネルギー消費が少なくなります。高い信頼性と一貫した結果により、ダウンタイムを最小限に抑え、運用を延長できます。VEECO K465は、高スループット産業アプリケーションに信頼性の高いエピタキシャル成長を提供するように設計されています。化合物半導体材料やデバイスの製造に最適なツールであり、研究や産業用途に最適です。
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