中古 VEECO / EMCORE E450 #9394988 を販売中
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ID: 9394988
ヴィンテージ: 2008
System
Process: GaAs
Product: GaAs LED (Red and yellow)
Config: TMAl, TMGa, TMIn, AsH3, PH3, Mg, Si
Spare parts:
Qty / Part number / Description
(1) / 1092679 / 50x2" Pockets wafer carrier
(1) / 1090650 / 13x4" Pockets wafer carrier
(1) / 1090581 / 21x3" Pockets wafer carrier
(5) / 1091270-1016-D-B / MFCs 30 SLM
(3) / - / PLC Control circuit boards
(4) / - / Filters
(1) / 1003794 / Heater base E400
(1) / 1016491 / Baffle EII
(1) / 1003780 / E400/E300 Spindle
(1) / 1016306 / Bottom heat shield EII
(1) / 1016307 / Top heat shield, EII
(1) / 1029697 / E450 Filament, outer
(1) / 1005630 / E400 Filament, middle
(1) / 9406E01 / ISOI00 Turbo pump
(1) / 1005552 / -
(1) / 1022551-1003 / E450 Screen diffusion, (2) Port photo ETC
(1) / 1022549 / Ring reactant level
(4) / 1003641 / Outer ring segment 9400 Flow flanges
(1) / 1002115 / VlV Gate pneu, 4"
(1) / 1016457 / E11 Susceptor moly
(3) / 1084355 / MKS 1000T CT27 Baratron, DNET
(4) / 1004766 / Feed through linear motions, 2.75 modification
(1) / 1003932 / Graphite bushing assembly
(4) / 1094048 / Bracket mounting holy shutter
(7) / 9472E01 / Control SSP, 15 Amp, 200-240 V
(8) / 1016309 / 9400 Heater support
(1) / 1013965 / k400 Heater support
(6) / 1005612 / Electro particle shield
(1) / 6403E02 / Fuse sub mini, 3A
(2) / 1003680 / MKS 1000 Torr
(1) / 1026320 / Drive motor, 1/3 HP, 180V, CDP3316 Baldor
(4) / 1004103 / E400 Baffle support
(2) / 1016308 / Electrode connector block outer heaters
(4) / 1003039 / Gaskets silver, 2.75 inch
(2) / 10446 / Gasket Cu Gr, 2.75 x 20.0 Belo/Bon
(4) / 1015365 / VCR Filter, (20) Microns
(24) / 1017391 / Screws
(24) / 6030E01 / Screws
(16) / 6099E03 / -
(16) / 1017391 / Screws
(6) / 6030E04 / Screws
(1) / 1084220-1002 / Screw
(16) / 1084220-1003 / Screws
(6) / 1017392 / Screws
(3) / 6045E01 / Screws
(1) / 6012E02 / Screw
(8) / 6094E03 / Washer locks
(1) / 1022820 / O-Ring, 30"
(1) / 1025867 / O-Ring
(1) / 1084972 / E450 Reactor insert holy
(1) / 10447 / Gasket
(1) / 1002703 / Ball valve, 4"
2008 vintage.
VEECO/EMCORE E450リアクターは、薄膜および半導体材料の蒸着プロセス用に設計された表面実装装置です。3。3kWの電子ビームガンと5。5kWのRF源を標準構成としている。VEECO E450は、0。2〜800Wの電力範囲、20〜400°Cの基板温度範囲、10〜6〜10〜7 mbarのチャンバー圧力など、幅広い動作パラメータを提供します。RFプラズマ源は、成膜プロセスの制御を作成し、フィルムの成長のために利用可能な最高周波数を持っています。これは、国際規格を超える超高真空品質を提供します。さらに、EMCORE E450は最近、運用効率を高め、メンテナンスコストを削減する新しいPC制御システムを採用しています。高度で強化された要素により、E450は急速な熱処理、フォトリソグラフィ、化学蒸着、スパッタリング、薄膜蒸着など、さまざまな用途に使用できます。さらに、この原子炉モデルは、さまざまなプロセス開発のために複数のチャンバーで構成することができるため、非常に柔軟性があります。また、無制限のプログラムストレージ機能、真空データのリアルタイム表示、サイクルシーケンス機能、グラフィカルユーザーインターフェイスも備えています。VEECO/EMCORE E450 Reactorは効率的でユーザーフレンドリーなソリューションで、異なる技術の複数のマシンの必要性を低減することでコストを最小限に抑えます。その高度な設計と柔軟な機能により、さまざまなアプリケーションに理想的な選択肢となり、迅速な納期を可能にします。直感的なコントロールにより、ユーザーはプロセスパラメータを正確に制御できるため、研究や生産に最適なツールとなります。VEECO E450炉の導入により、生産性と信頼性の向上が期待でき、同時にコストとエネルギー消費を削減できます。
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