中古 VEECO / EMCORE E450 #9283634 を販売中

VEECO/EMCORE E450リアクターは、エレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス業界のさまざまな用途の基板に単層および多層薄膜を堆積するために使用される特殊なツールです。市販されている最先端の低圧化学蒸着（LPCVD）装置を代表しており、最先端の薄膜加工および材料工学のための強力なツールとなっています。VEECO E450原子炉には、最大12個の個々の基板を最大4 「x 6」サイズ、または1つの4 「x 12」基板に積み込むことができる自動クォーツボートアセンブリが装備されており、それぞれの基板位置は最適な厚さと蒸着の均一性のために調整されています。電気発熱体は正確な温度制御を可能にし、さらに4つの加熱ゾーンがあり、高度なアプリケーション固有の処理が可能です。この原子炉は、40秒未満の切替え時間でバッチまたは連続運転が可能であり、プロセスパラメータを変更する必要なく、必要に応じてプロセスをカスタマイズすることができます。原子炉は、一度に最大5つの異なるプロファイルを格納する能力を持つ特殊なソフトウェアプログラムによって制御されます。正確な蒸着速度、温度、圧力範囲を調整して目的の結果を得ることができ、最大4つの蒸着源を使用して、堆積している薄膜の特性を究極的に操作できます。このソフトウェアはまた、堆積プロセスのリアルタイム監視、およびレビューのためのさまざまなプロセスデータの収集を可能にします。EMCORE E450リアクターは、過温度および過圧検出システム、および運転中の反応ガスを適切に処理するための自動パージ機能など、多くの安全機能を備えて設計されています。真空ユニットには、汚染からの余分な保護のためのオイルミストフィルターも含まれており、機械は簡単なクリーニング手順を通じて最小限のメンテナンスのために設計されています。また、原子炉はRoHSに準拠しており、最新の国際安全基準に適合しています。要するに、E450炉は強力で高度な薄膜成膜ツールであり、優れた温度および圧力制御、ならびにさまざまなアプリケーション固有の処理オプションを提供し、ユーザーが望む結果を達成できるようにします。この原子炉のソフトウェア駆動制御ツールと安全機能により、信頼性の高い精密な薄膜蒸着を求めるあらゆる電子機器や光学機器メーカーにとって魅力的な選択肢となります。