中古 VEECO / EMCORE E450 #9255826 を販売中

VEECO/EMCORE E450は、ウェーハ処理用に設計された水平、ホットウォール、RIE（リアクティブイオンエッチング）原子炉です。4インチ、6インチ、8インチウェーハの加工が可能です。VEECO E450は自動ウェハハンドリング装置を備えており、迅速なローディング/アンロードと原子炉室へのウェハーの正確な配置を可能にします。チャンバーの最小温度は25°Cで、エッチング時の正確な温度制御が可能です。EMCORE E450は金属チューブ構造を有し、不活性（非反応性）ガス排出環境を備えたデュアルタイプのエンクロージャで使用するために設計されており、汚染のリスクを最小限に抑えた幅広い材料のエッチングが可能です。この原子炉は、O2、 Ar、 SF6、 Cl2、 BCl3、複合ガスなど、さまざまなガスで動作するように設計されています。低粒子汚染により、収率と品質の高いICマイクロチップの生産が可能です。このシステムは下流のガス供給ユニットを備えており、高純度の反応性とプロセスガスの安定供給を保証します。基板構成により、圧力、流量、温度、ガスミックス、パワーなどのさまざまなプロセスパラメータを使用して、希望するアプリケーションのエッチングプロセスを最適化できます。E450にはVUV （Vacuum Ultra Violet）とRF （Radio Frequency）電源もあり、プロセス条件の精密な制御を可能にし、ウェーハ間の均一性を保証します。VEECO/EMCORE E450は、シリコン、シリケート、ポリマーなどの幅広い基板エッチング用に設計された、信頼性の高い堅牢な原子炉機です。高い性能基準を満たす堅牢な結果を提供し、クリーンで正確なエッチングを保証します。リアクタはユーザーフレンドリーなツールで、プロセス最適化のためのクイックセットアップとプログラマブルパラメータのためのシンプルなユーザーインターフェイスを提供します。All-around、 VEECO E450は信頼性が高く強力な資産であり、半導体デバイス製造の生産に最適です。