中古 VEECO / EMCORE E450 #9255825 を販売中

VEECO/EMCORE E450炉は、高温または高エネルギー処理を必要とする材料の薄膜を堆積することができる、高出力、コンパクト、オールインワン蒸着装置です。MOCS、 IBAD、 RF/DCマグネトロンスパッタ、AES/PECVDなどの様々な蒸着技術に適した完全にプログラム可能で高性能でコンパクトな原子炉を備えています。VEECO E450は、液体窒素（LN2）、水素/ヘリウム混合物、流れる水素/ヘリウム混合物、水素/ヘリウム気化器などの様々なガス源とも互換性があります。EMCORE E450は、均一性と高レート処理のために設計されています。高性能ダイレクトカソード・イオン源（DCIS）を備え、最大20keVのイオン・エネルギーを供給できます。また、最大25 kWの電力を持つデュアル周波数マグネトロンスパッタ源を備えています。統合された高性能マスフローコントローラとマスタースレーブモーションコントローラは、均一なフィルムを製造するために必要なパワーと精度で正確なプロセス制御を可能にします。E450のコンパクトさは、狭い空間でのさまざまなプロセスに最適です。また、温度、圧力、その他の機械変数を監視する高レベルの安全ユニットを備え、これらの変数のいずれかが安全限界を超えた場合、ツールをシャットダウンします。VEECO/EMCORE E450は、研究開発、プロトタイピング、高率生産に最適です。精密なプロセス制御を可能にし、高速蒸着機能により、大量のアプリケーションに最適です。VEECO E450には、さまざまな高性能な薄膜プロセスを可能にする多くの機能があります。ディスプレイ、光学、半導体、MEMSデバイスなど、幅広い用途に対応できます。統合された電源および制御システムは、すばやくセットアップできる簡単な操作を実現します。