中古 VEECO / EMCORE E400 #9302576 を販売中

VEECO/EMCORE E400 Reactorは、さまざまな薄膜増殖用途に使用するために設計された汎用リアクタツールです。この原子炉は垂直方向のシステムで、成形、エッチング、材料沈着、アニーリングなど、多くのアプリケーションをサポートすることができ、卓越したレベルの性能を実現します。そのユニークなデザインは、高温ゾーン（通常は250〜600°C）、中温ゾーン（通常は100〜400°C）、低温ゾーン（通常は50〜300°C）の3つの温度ゾーンで構成されています。これらのゾーンは互いに独立しており、正確な温度制御を提供し、より高い温度プロセスが進行中であると同時に低温プロセスが発生することを可能にします。この原子炉は独自の対称フランジ式ロードロック設計を採用しており、異なる基板サイズとソースと基板間の相対運動を可能にします。これにより、このツールに柔軟性が追加され、衛星やその他の円筒形の基板などの非角形基板に膜を堆積させることができます。VEECO E400のデュアルベイ設計により、パフォーマンスや生産性を犠牲にすることなく、より多くのプロセスを同時に実行できるため、プロセスの柔軟性が向上します。EMCORE E400は、低圧/高圧高出力、低圧/高圧フラッシュランプ、DC（直流）およびRF（無線周波数）スパッタ沈着、イオン化された物理蒸着（iPVD）、金属有機化学蒸着（VASMA）、蒸着（VASMA OR）新しいホットリパッケージ機能により、さまざまなプロセスで素材の成膜を高速化できます。さらに、原子炉は1000 Torr/secを超える高速ガス圧力変化率を有し、高品質のプロセス結果を提供します。E400 Reactorは、大面積の基板を必要とする次世代製品の開発、高精度のフィルム成膜、材料スループットの向上、または高出力機能の開発に最適なハイエンドの高性能ツールです。その高度な熱管理と均一性、マルチゾーンの柔軟性、高いスループット、低温互換性、および高出力機能により、パフォーマンスや効率が優先される多くのアプリケーションにとって魅力的なソリューションとなります。