中古 VEECO / EMCORE E400 #9047867 を販売中

VEECO/EMCORE E400は、エピタキシャル金属-有機化学蒸着（MOCVD）原子炉で、ヒ素ガリウム、リン化インジウム、アルミニウムガリウムなどの化合物半導体材料を処理するために設計されています。VEECO E400は、マルチゾーン、水平チューブ、フロースルー装置で、物理的な設置面積がはるかに小さいシングルゾーンシステムよりも高い精度と信頼性を提供します。原子炉内部のホットゾーンには、2つのプレヒートゾーンがあります。ホットゾーンは、統合されたリモートコントロールシステムを使用して、100〜1000°Cの温度まで個別に加熱することができます。ホットゾーンは、プロセス実行中にホットゾーンを冷却するために設計された、上部と下部の冷却キャビティで区切られています。EMCORE E400はマルチポイント制御も備えており、ユーザー設定および監視条件の全範囲にわたって正確な温度制御を可能にします。原子炉はまた、優れた信頼性と堆積膜の再現性を備え、効率的で再現性の高いプロセス制御を提供します。E400は独自のデュアルインレット設計を採用しており、キャリアとリアクタントガスの独立した制御と、ガス圧力と流量の両方の独立した制御を可能にします。これにより、原子炉全体に均一なガス分布が確保され、フィルムの品質と均一性が向上します。VEECO/EMCORE E400には、高周波プラズマ発生器が内蔵されており、蒸着速度の向上、フィルムの均一性、フィルム特性の向上が可能です。このユニットはまた、コイルや基板の安定した電力を維持し、原子炉の汚染を低減するのに役立ちます。この原子炉にはプラズマプリイオン化機能も追加されており、沈着速度を低下させ、プロセスから不純物を除去します。このツールには、プロセスの均一性を高めるためのオプションのスリットノズルインジェクターアセンブリも備えています。固定ノズルインジェクターアセンブリのこの革新的な組み込みは、窒素消費量を削減し、安定したプロセス安定性を維持し、プロセスの再現性を最大化するのに役立ちます。全体として、VEECO E400炉は、改善された反復可能なデバイス属性、プロセスの均一性、および微調整された制御機能をユーザーに提供します。この機械は、プロセス全体にわたって一貫したガス圧力を維持し、均一で再現性のある蒸着品質を保証します。プラズマジェネレータ、オプションインジェクタ、独立して制御されたホットゾーンを追加することで、MOCVDプロセスの精度と制御が向上し、すべての実行で最適なデバイス性能を保証します。