中古 VEECO / EMCORE E400 #9029117 を販売中

VEECO / EMCORE E400
製造業者
VEECO / EMCORE
モデル
E400
ID: 9029117
MOCVD System Configured for GaN process E400 As/P GaAs: 42" x 2" (7) MO Source lines Sources: TMIn-1, TMAl-1, TMAl-2, TMGa-1, TMGa-2, DETe, Cp2Mg Hydride source line: AsH3, PH3, Dopant A Epison III for TMIn-1.
VEECO/EMCORE E400炉は、材料のドーピング、エッチング、沈着などの複数のプロセスに使用される高度なタイプの化学処理装置です。VEECO E400は、BOSCH、 CVD、イオン注入などの半導体ベースのアプリケーションから、金属や酸化物などの材料の堆積まで、さまざまなプロセスに使用できます。EMCORE E400は高速で効率的な原子炉であり、高いスループット、優れたターンアラウンド時間、および最高レベルのプロセス品質を備えています。E400は、特許取得済みのマルチチャンバー設計を備えており、熱予算が低く、非常に効率的な速度で最高のステークプロセスを達成できます。この原子炉の設計は、スケールアップまたはダウンも容易であり、幅広いプロセスに使用することができます。VEECO/EMCORE E400には、プラズマと熱処理の両方をサポートするホットステージクォーツカバーが搭載されています。また、プロセスチャンバーの正確な制御を可能にする高度な真空技術を備えています。さらに、VEECO E400炉には調節可能な高温エネルギー源が装備されており、材料の蒸着制御が可能です。高度なガスマニホールド装置は、迅速な変更を行い、正確で制御されたガスの流れを提供することを容易にします。この原子炉には、使いやすく効率的な信頼性の高い自動化された材料供給システムが取り付けられています。また、高価な放電やダウンタイムを発生させることなく、加工条件を正確にチューニングするための堅牢な温度制御ユニットを備えています。EMCORE E400には、デバイスを簡単に操作できる直感的なヒューマンマシンインタラクションインタフェースが装備されています。E400には、ユーザーが処理結果を評価し、潜在的な処理問題を検出するのに役立つ高度なデータロギングおよび分析ソフトウェアが装備されています。この機能により、VEECO/EMCORE E400は、一貫した再現性のある高品質の結果を生み出すことができる信頼性の高い一貫した原子炉になります。一般に、VEECO E400は半導体ベースのアプリケーションに適した先進的で効果的な原子炉です。これは、高効率、正確な制御、信頼性の高いパフォーマンスと堅牢で信頼性の高いユーザーフレンドリーなインターフェイスを組み合わせたオールインワンユニットです。EMCORE E400は、生産と加工の結果を最適化するために探している任意の化学加工機の貴重な部分です。
まだレビューはありません