中古 VEECO / EMCORE E400 #9017783 を販売中

VEECO/EMCORE E400は、半導体加工やその他の産業で使用するために設計されたタイプの原子炉です。最大400kV、電流範囲20mAの高分解能電子ビーム（e-beam）装置です。このシステムには、用途に応じた幅広い治療法が搭載されており、その精度は拡散、注入、スパッタリング、コーティングのアプリケーションのニーズに最適化されたソリューションを提供します。VEECO E400は、本番環境とR&Dの両方で構成されたさまざまなロール設定で使用できます。このユニットの中核部品には、200mmまたは300mmプロセスチャンバー、真空機械、高出力の電子ビームカラム、窒化ガリウム（GaN）電子銃、電界放出カソード、ビーム電流測定ツールがあります。アセットは非常に構成可能で、ドーパントや再成成技術、超高解像度イメージングなど、多数のアプリケーションの組み合わせをサポートしています。EMCORE E400は、電子ビーム処理において比類のない精度を提供します。これは、自己較正電子ビームにより、競合するシステムよりも4倍の明るさと非常に優れた安定性を備えています。これにより、単一および複数ステップのプロセスに必要なエネルギーと強度を正確かつ迅速に提供します。この機能は、モデルのアクティブおよびパッシブビーム電流制御と相まって、正確なビームプロファイリングと優れたオーバーレイ精度を実現します。また、幅広いSEM/STEMイメージングモードで使用できる高度なハイコントラストイメージングも搭載しています。このシステムは、パフォーマンスに差がある場合にオペレータをセルフモニターして警告するように設計されたハードウェアとソフトウェアの両方で、高い信頼性を備えています。安全機能には、プログラム可能な電源スレッショルドと冗長冷却ユニットが含まれます。その他のユーザーフレンドリーな機能には、パワーコントロールメニューとリモートコントロールアクセスが含まれます。全体的E400は、精密なプロセス制御と幅広い用途を提供する高精度の電子ビーム炉です。比類のない使いやすさと驚異的な精度により、ユーザーは個々の顧客のニーズに合わせてカスタマイズできる高品質のプロセス結果を生み出すことができます。