中古 VEECO / EMCORE E400 #293641832 を販売中

VEECO/EMCORE E400炉（別名化学蒸着装置）は、高温およびその他の用途向けの高品質の多結晶およびアモルファス薄膜を製造することができる高温超高真空水平蒸着システムです。誘電層にエッチングされたパターンを生成するリアクティブイオンエッチングプロセスと、アモルファス層の急速なサーマルアニーリングプロセスを備えた多機能ユニットです。VEECO E400は、蒸着源に20インチのアルミニウムチャンバーと多軸ケニックスフィードスルーを備えた4インチウェハチャックを備えています。原子炉内の圧力は調整可能であり、超高真空蒸着プロセスの要件を満たしています。この原子炉には、メカニカルシャッター、回転サンプルモジュール、および自動スパッタリングマシンを備えた事前蒸着の選択肢も含まれています。さらに、EMCORE E400には、蒸着およびエッチング処理の前に基板をクリーンにして活性化するイオンエネルギー源が装備されています。E400原子炉は、スーパーコンダクターやその他の高温材料を堆積するように設計されています。蒸着源は400°Cまで温度で機能することができます。VEECO/EMCORE E400の設計は、最高のプロセス再現性を確保するために、蒸着温度が低い非常に薄い層の材料を生成するために特別に作られています。イオンエネルギーソースは、最大電流1-10mAで、毎秒3回までイオン爆撃を提供することができます。VEECO E400は、優れたプロセス制御を備えた超高真空プロセスデポジションツールです。多結晶・アモルファスからスーパーコンダクターまで、幅広い薄膜材料を堆積することができます。資産の操作の容易さ、再現性、および正確さは研究および商業適用のためにそれを理想的にさせます。EMCORE E400は、パターニングや高温光学薄膜の堆積のためのガラスや石英など、さまざまな基板サイズと材料を処理することができます。このモデルは、RFオプションと自動化された事前クリーニングモジュールとポストクリーニングモジュールを追加することで、さらにカスタマイズ可能です。