中古 VEECO / EMCORE E400 Gold As/P #9155030 を販売中

ID: 9155030
MOCVD systems MO Source line : ( Normal x 7 / Dopant x 2 ) CBr4, DEZn,TESb,TMIn-1,TMIn-2, TMAl,TMGa-1,TMGa-2,IBuGa Hydride source line: AsH3 x 2 ,PH3 x 2 ,Dopant A x 1,Dopant B x 2,Dopant C x 1 Epison III x 2 for TMIn Currently de-installed 2000-2001 vintages.
VEECO E400 Gold As/Pは、半導体エンジニアリングにおける薄膜加工および成膜のための先進的な原子炉です。このAs/Pリアクターは、有機薄膜と無機薄膜の両方を含む幅広い材料に高性能とコスト効率の高い処理を提供するように設計されています。As/Pリアクターは、2段階のプログラム可能なプラットフォームを備えた4面クォーツチューブです。水晶管の4つの側面のそれぞれは誘導コイルによって加熱され、精密な温度調整および均一性を可能にします。プラットフォームの最初の段階は、3つの主要なコンポーネント、すなわち、底水晶シールド、中水晶シールド、および水晶ライナーで構成されています。底面の石英シールドは誘導コイルによって生成される熱からチャンバーを保護し、絶縁しますが、中間の石英シールドはライナーを燃料ガスから保護します。水晶はさみ金はプラットホームの第2段階で、一組のワイヤーによって電源に接続されるGraphiteの炉の電極の配列から成っています。グラファイト炉の電極は、より均一な方法で薄膜のより効率的な堆積を可能にします。また、E400 Gold As/Pは、薄膜成膜用の誘導コイルにオンオフパルスの様々なシーケンスを提供するようにプログラムすることができます。この機能により、電源の手動設定が不要になり、機械の効率と精度がさらに向上します。さらに、E400 Gold As/Pには、堆積プロセスを観察および監視し、必要な調整をリアルタイムでフィードバックするカメラシステムが内蔵されています。E400 Gold As/Pは、半導体、マイクロエレクトロニクス、化学、光学デバイス製造など、さまざまな業界のニーズに対応するために設計された強力で汎用性の高いシステムです。それは良質の薄膜を作り出す機能のために研究開発の実験室、また生産設備で広く利用されています。この機械のプログラム可能なプラットフォームにより、酸化物や窒化物の沈着、金属膜の沈着、LED加工、MEMS製造など、幅広い用途に使用できます。E400 Gold As/Pが提供する効率、精度、品質の向上により、現在の産業用途に最適です。
まだレビューはありません