中古 VEECO / EMCORE E300 #9265829 を販売中

VEECO/EMCORE E300は、化学蒸着用途およびその他のエピタキシャル蒸着用に設計された原子炉です。この原子炉は、様々な化合物から幅広い高純度材料を生産することができます。VEECO E300炉は、高温に耐えることができるステンレス鋼や他の材料で作られた不活性、水平チューブタイプの原子炉です。原子炉内部は外部の空気から密閉され、汚染を防ぎます。それは材料沈着のための加熱されたサセプター、またはるつぼを持っています。サセプターは高温に加熱することができます。また、ユニークな真空源を備えています。ステップスキャン質量分析計は、反応プロセスを監視するためにこの原子炉に接続することができます。EMCORE E300は、ヒ素ガリウム、リン酸インジウム、III-V化合物、炭化ケイ素などの半導体の製造に幅広く使用されています。これらの材料を純粋な形で製造することを可能にする低汚染設計を備えています。E300の静電容量結合プラズマ（またはCCM）アプローチは、蒸着プロセスを正確に制御することができ、その柔軟な幾何学的構成は厚膜の蒸着を可能にします。VEECO/EMCORE E300は高いプロセスレートを提供し、生産性を向上させます。その設計は、材料層の成長、表面の不動態化、エッチングなどのプロセスの最適化を可能にします。また、パーティクル侵食効果を排除することもできます。この原子炉には、製品の過熱および熱破壊を最小限に抑えるための効率的な冷却が含まれています。これは、堆積プロセスの効率的な制御を可能にする診断監視システムが装備されています。原子炉には窒素入力も含まれており、蒸着中にきれいで不活性な環境を確保するのに役立ちます。VEECO E300は、材料沈着に関与するパラメータとプロセスを正確に制御することで、高純度化合物の製造に適しています。操作のシンプルさと高精度も研究に適しています。蒸着プロセスで使用されるすべてのパラメータは、リアルタイムで調整および監視することができ、最適化された品質管理を可能にします。