中古 VEECO / EMCORE E300 #9265827 を販売中
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VEECO/EMCORE E300は、様々な半導体材料やデバイスの製造に使用される高性能エピタキシャルリアクターです。VEECO E300は、幅広いプロセスに使用できる高効率の蒸着装置です。高いスループットと低コストを実現するために最適化された高度な設計を備えています。EMCORE E300は単一のウエハ、高温および低圧の化学蒸着炉です。中央のチャンバーは、底部に高温発熱体を取り付けた円筒状の真空チャンバーです。E300は1000°Cまで温度に達することができ、このチャンバーでは10 Torrまでの圧力。これは、ケイ素、ゲルマニウム、ガリウム、ヒ素、リン酸インジウム、テルル化物カドミウム、セレン化亜鉛など、幅広い成分の堆積のために設計されています。中央チャンバーには複数のソース・ポートが装備されており、チャンバー内のガスの層流を可能にし、ウェーハ表面に堆積した層の均一性と品質を向上させます。VEECO/EMCORE E300には、高性能のマルチチャンネルガス搬送システムも含まれており、複数のガスを優れたプロセス制御で同時にチャンバーに送り込むことができます。VEECO E300は、最大4インチまでのウェーハ間の距離を調整できる複数のウェーハにも対応できます。EMCORE E300には、優れた制御精度を提供する包括的な制御ユニットを備えた直感的なコンソールも装備されています。これにより、ガスの処理反応温度や混合物を正確に調整し、優れたデバイス性能を生み出すことができます。さらに、E300は、高速応答PIDコントローラを使用して、各パラメータを常に監視し、必要なときにガスの流量を調整する自動フロー制御マシンを備えています。全体として、VEECO/EMCORE E300は優れたエピタキシャルリアクターであり、優れた性能と信頼性を提供します。最先端の半導体生産アプリケーションのニーズを満たすように設計されており、低所有コストで成膜プロセスを成功させます。
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