中古 VEECO / EMCORE E300 #9265825 を販売中
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VEECO/EMCORE E300炉は、蒸着技術の最新の進歩に対応するように設計された半導体プロセス強化蒸着システムです。完全に統合されたモジュラーハードウェアを備えたモジュラーツールプラットフォームであり、物理蒸着（PVD）、電子支援PVD （e-PVD）、プラズマ強化原子層蒸着（PEALD）、化学蒸着（CVD）などの幅広いプロセスをサポートします。モジュラーハードウェアには、大量生産されたモジュラーチャンバー、多数の内部イオンビーム源、および幅広い高エネルギー、高電流プロセスソースが含まれています。また、信頼性の高い高性能プロセス制御のための高度なガスおよびプロセス制御システムも含まれています。VEECO E300リアクターは、熱およびeビーム駆動蒸着、ならびに現場モニターおよびエンドオブラインフィルムの制御をサポートします。そのアーキテクチャは、同じように高速なプロセスの起動時間だけでなく、正確なin situプロセス制御を可能にします。これは、電子活性膜の精密な制御がデバイスの性能に大きな影響を与えることができるハイエンドデバイスの製造にとって重要です。また、EMCORE E300原子炉は、基板に低エネルギーの酸素または窒素プラズマを供給する能力を含む、高度なプラズマ制御機能を備えています。ステップリソグラフィやリフトオフも可能で、最大200mmまでの基板やウェーハをサポートします。さらに、高解像度E300高精細な環境顕微鏡を含む、さまざまな光学表示機能を備えています。これにより、薄膜形成のリアルタイムイメージングが可能になり、フィルム特性の向上やプロセス監視が可能になります。VEECO/EMCORE E300は、ほぼすべてのプロセスガスと優れた熱均一性と互換性を提供し、高品質で高アスペクト比のフィルムを製造するのに理想的です。これらのすべての要因が組み合わさって、VEECO E300最先端の薄膜プロセス統合のための最高のソリューションの1つになります。
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