中古 VEECO / EMCORE E300 #293744722 を販売中
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VEECO/EMCORE E300は、反応蒸着、遠隔蒸着、スパッタリングプロセスに使用される小型のスタンドアロン電子ビーム蒸発炉です。この原子炉は、半導体および分析産業向けに設計されています。VEECO E300は、薄膜生産能力の高い高性能リアクターです。それは均一な物質的な沈殿を保障する独特な、フルフィールドマグネトロンスパッタリングの設計の上に造られます。また、VEECO特許取得済みのQPA Zone™技術を採用し、温度、ヘリウム圧力、電力などのプロセス条件を正確に制御します。これにより、オペレータは堆積プロセスを監視および分析することが容易になります。EMCORE E300は、さまざまなワークに対応できる大型チャンバーを備えています。その設計は表面積の利用を最大にし、薄膜堆積物のよりよい均一性を作成します。E300の寛大なワークスペースにより、ユーザーはガスをすばやく変更し、プロセス間の迅速な移行を可能にします。さらに、VEECO/EMCORE E300は、操作者がプロセスを簡単に監視、調整、カスタマイズできるユーザーフレンドリーな機器を備えています。このシステムは、VEECO/EMCORE IonBeam™ Unit、 VEECO MassSpec™ Machine、 EMCORE Monitor Toolなどの他のEMCOREシステムと統合することもできます。これにより、精密堆積と分析のための包括的なツールが作成されます。蒸発動作には、VEECO E300を使用して、チタニア、酸化ランタン、酸化ホウ素の蒸着などの反応性薄膜成長プロセスを行うことができます。原子炉内にある蒸発源は、さまざまなタイプの薄膜蒸着プロセスに適応するためにオンとオフを繰り返すことができます。この原子炉はまた、迅速なターンアラウンドと最適なプロセスパラメータを提供する1ボタンのターンキープロセスを備えています。EMCORE E300はまた、真空インターロックや低ノイズ放出などの革新的な安全機能を採用しています。E300リアクターは、幅広い用途で正確なスパッタリングと蒸着プロセスを可能にする強力でユーザーフレンドリーなツールです。効率的なマテリアルカバレッジと正確な制御により、半導体および分析産業に最適です。
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