中古 VEECO / EMCORE E300 #293652202 を販売中
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VEECO/EMCORE E300は、薄膜、ヘテロ構造または薄膜デバイスを生成するように設計された、高度な化学蒸着（CVD）原子炉です。VEECO E300は、III/VおよびSiベースの材料の両方を堆積することができるシングルウェーハ、マルチステーションCVDリアクタです。EMCORE E300独自の設計により、高いスループットと優れた均一性を実現し、高品質の薄膜材料生産を可能にします。E300は堅いステンレス鋼から、それ耐久および維持し易いです組み立てられます。VEECO/EMCORE E300は、4つの個別に構成されたプロセスステーションで構成され、それぞれがシングルウェーハに対応しています。各プロセスステーションは、薄膜蒸着プロセスを最適化するために、さまざまな圧力に加えて、最大700 Cの温度を誘導することができます。VEECO E300の優れた圧力性能により、様々なCVDガスを利用し、最適な蒸着環境を実現します。EMCORE E300には、温度および圧力レギュレーションに加えて、可能な限り最高の効率を維持するために、4つのチャンバーの各パラメータを監視するように設計されたさまざまな高度なセンサーが装備されています。E300の優れた基板温度制御などの高度な機能により、熱感度に大きな影響を与えたり、材料の品質を低下させることなく、迅速かつ均一な蒸着が可能です。熱壁のCVDプロセスを使用することで、堆積率がさらに向上します。このプロセスにより、シングルウェーハ上に複数の材料層を作成することができます。さらに、堆積物の品質と均一性を最適化するために、層形成の後に急速な冷却プロセスが実装されます。VEECO/EMCORE E300はユーザーフレンドリーで、資格のある技術者が簡単に操作できる直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を提供します。GUIの直感的な設計により、高品質の薄膜材料を製造するために必要なプロセスパラメータや調整を制御できます。VEECO E300は、幅広い材料で優れた薄膜生産が可能な先進的なCVD炉です。その高度な機能は、高品質の薄膜材料の迅速かつ均一な蒸着を可能にし、熱特性を高め、圧力損失を最小限に抑えます。グラフィカルユーザーインターフェイスは、資格のある技術者による簡単な操作も提供します。EMCORE E300は、生産能力を最大化するために探している任意の研究や産業施設のための優れた選択肢です。
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