中古 VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293751365 を販売中

VEECO/EMCORE E300 GaNzillaは、プラズマ強化化学蒸着炉（PECVD）です。窒化ガリウム（GaN）などの均一なコーティングを堆積・成長させる高性能成膜ツールです。GaNzillaには大きな反応室があり、大きな基板を扱うことができ、500°Cから1300°Cのプロセスウィンドウがあります。高速ロードロックシステムにより、迅速なランプアップと迅速なプロセスサイクル時間を実現します。この原子炉は無線周波数（RF）プラズマ源を使用しており、高密度プラズマを提供し、種の制御と非常に均一なコーティングを改善しています。GaNzillaは、高効率のGaN蒸着用に設計されており、セットアップを最小限に抑えたすぐに使用できるシステムを可能にします。また、高い基板均一性を確保するために、キネマチックカップリングを備えた統合基板加熱システムを備えています。ユーザーは、最適化された最終製品を確保するために、プラズマパワー、ガスの流れ、および基板温度などのプロセスのパラメータを簡単に制御することができます。原子炉には、特定のサンプルの必要性にプロセスを適応させるための可変チャンバジオメトリもあります。VEECO E300 GaNzillaには、柔軟なPC/PLC制御モジュールが含まれており、ユーザーは原子炉を自分のニーズに合わせて調整できます。また、原子炉が正常に動作し、事故が発生しないようにするための複数の安全機能も備えています。全体的に、EMCORE E300 GaNzillaは、他のシステムよりもサイクルタイムが低いGaN膜の高効率で信頼性の高い蒸着に使用できる高性能リアクタです。その先進的な機能により、GaNzillaは半導体デバイスからマイクロエレクトロメカニカルシステムまで、さまざまな用途で高品質のフィルムを製造するために使用できます。