中古 VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293749112 を販売中

VEECO/EMCORE E300 GaNzillaは、半導体産業で使用される窒化ガリウム（GaN）結晶の成長のために設計された金属-有機蒸気相エピタキシー（MOVPE）リアクタシステムです。最大の生産性と拡張性を実現するために最適化されており、従来のMOVPE GaN炉の最大3倍の成長率を実現しています。VEECO E300 GaNzillaのユニークな設計には、プロセス制御を改善し、粒子の汚染物質を少なくするための革新的な高効率エキゾーストキャプチャシステムが含まれており、利用可能な最高の純度と最高品質のGaN結晶の成長を可能にします。また、低温低圧プロセスを使用して、熱応力を低減し、結晶の品質を向上させます。EMCORE E300 GaNzillaは、高圧共振周波数強化（RFE）ガスインジェクション技術を搭載しているため、手動でガス制御する必要がなくなり、複雑さが軽減され、安定性と精度が向上し、システム内の可動部品が少なくなります。E300 GaNzillaには、埋め込まれた炭化ケイ素ヒートシンクと調整可能な原子炉位置コントローラを備えた高度なVEECOチャンバ技術が搭載されています。これにより、原子炉室内の温度、圧力、均一性、分布を正確に制御できるため、高品質のGaNエピタキシーに最適に調整されたプロセスが得られます。VEECO/EMCORE E300 GaNzillaは、ガスモニタリング、アクティブオーバープレッシャー保護、イオンネット電流制御、エアフロー制御など、安全で信頼性の高い成長プロセスを提供するために、内蔵の安全性と保護機能を備えています。VEECO E300 GaNzillaは、優れたコスト効率と拡張性と堅牢な設計と制御機能を兼ね備えています。独自のプロセス機能と高度なEMCOREチャンバ技術は、最高水準を満たしているため、最も困難な用途でのGaN結晶の成長に最適です。