中古 VEECO / EMCORE E300 GaN #9245409 を販売中

VEECO/EMCORE E300 GaNは、窒化ガリウム（GaN）の蒸着やエッチングなど、高い蒸着速度と均一性を必要とする材料の用途向けに設計された高性能でコンパクトな原子炉です。E300は、高品質の薄膜コーティングおよびナノスケール構造の製造に最適です。このE300は、最大出力300Wの低圧誘導結合プラズマ（ICP）源を利用しており、より均一で一貫したプロセス温度とイオンエネルギーを実現するように設計されており、より高い蒸着速度と改善された均一性を提供します。低圧ICP源は、大量のガスと長いサイクル時間を必要とする亜大気蒸着システムよりも重要な利点を提供します。E300は基板温度を正確に制御することができ、幅広い用途で正確かつ予測可能な温度制御が可能です。部屋の底は500°C。への包囲された範囲の温度調整を可能にする熱くする段階が装備されています。これにより、GaNや他のIII窒化物などの敏感物質の低温成長が可能になります。この装置には静電エネルギー源も装備されており、基板をさまざまなプロセス条件にさらすために使用することができます。これにより、精力的に選択的な成膜（ESD）のような独自のエッチングおよび成膜プロセスが可能になり、ナノパターンを処理する際の柔軟性が向上します。E300は最先端の制御システムを備え、リアルタイムのデータ監視を備え、高温アプリケーションでも正確で信頼性の高いプロセス制御を提供します。統合されたソフトウェアは完全に自動化された操作を可能にし、ユーザーの特定のニーズを満たすように構成することができます。全体として、VEECO E300 GaNはGaN処理専用に設計されたコンパクトで高性能なユニットです。基板温度を正確に制御することができるとともに、高度な制御システムを一体化しているため、高品質のGaN薄膜コーティングやナノスケール構造の成長など、複雑な成膜およびエッチングプロセスに最適な機械です。