中古 VEECO / EMCORE D9000 #9196536 を販売中

VEECO/EMCORE D9000 Reactorは、製造、試験、および研究用途向けに設計された最先端の電磁界（EM）フィールド炉です。原子炉独自の設計は、電子プラズマ加速とマイクロ波破壊の両方をサポートする最適な磁気環境を提供し、原子炉は様々な用途に役立ちます。半導体加工に使用されるエピタキシャルウエハだけでなく、複合膜の作成にもプラズマ生産能力が不可欠です。この原子炉は超高周波（RF）電源機能を備えており、さまざまなプロセス温度および圧力で高効率で動作することができます。近距離効果を利用することで、典型的な実行時に高い製品歩留まりを達成することができます。また、精密な熱流体制御システムも備えており、既存の真空技術との互換性が高い。さらに、その可変磁場は、組成や温度などのプラズマ特性を柔軟に制御することができます。VEECO D9000リアクタは、オプションの自動アライメントおよび診断モニタリングシステムでも使用できます。これらにより、オペレータの関与を最小限に抑えた正確な機器診断が可能になります。さらに、リアクタにはシステムレベルで事前にプログラム可能でユーザー定義可能なリアタシーケンスが含まれており、特定のプロセスニーズに応じて最大限の最適化が可能です。EMCORE D9000原子炉の統合ソフトウェアは、迅速な測定と修正を容易にする効率の高い環境を作成します。それは動的単位制御変数を可能にし、部屋の圧力、rfの発電機の出力および入力電力レベルのような機械性能およびプロセス変数を、遠隔に監視できます。D9000原子炉では、自動遮断シーケンスや発電機出力のタイマー制御など、高度なエネルギー管理機能も備えています。革新的な高速作動シャッター、自動圧力制御、自動RFチューニングを組み合わせることで、正確なリアクター制御が可能になり、再現性の高いプロセス性能とプロセス結果の正確な再現性を実現します。これらの革新により、VEECO/EMCORE D9000原子炉は、製造、研究、および試験アプリケーションに最適な、信頼性が高く適応可能なユニットとなります。