中古 VEECO / EMCORE D9000 #293765079 を販売中

VEECO/EMCORE D9000は、エレクトロニクス、半導体、光学産業向けのR&D蒸着プロセス用に設計された強力な原子炉です。VEECO D9000炉は、優れたスループット、均一性、精度で、可能な限り最高の処理温度で様々な材料を処理することができます。業界で最も先進的なドライエッチングおよび成膜処理システムの1つであり、単一のパッケージで優れた柔軟性とパフォーマンスを提供します。この原子炉は、最大800°Cの高温処理能力と、0。1mBar〜10Torrの印象的な圧力範囲で設計されています。EMCORE D9000の温度および圧力制御により、蒸着およびエッチング工程の制御が改善され、精度と再現性が向上します。D9000には異方性エッチング機能があり、Ar/O2の共同スパッタリング技術を使用しています。このチャンバーには、NF3、 SF6、トリメチルアルミニウムなどの特殊ガスを含む幅広いプロセスガスがあります。VEECO/EMCORE D9000の大規模処理能力、およびx、 y、 zスキャナ、プラズマ源の遅延、イオン源エネルギーとレート制御、RF電力制御、およびin-situ石英反射率などの幅広いオプション機能により、幅広いアプリケーションに適しています。高度な成膜およびエッチング機能により、より高い処理温度と薄膜成膜の均一性を実現します。また、VEECO D9000は、高性能温度監視と高度な計測およびイメージングを備えているため、処理実行の結果を迅速に分析、比較、検証することができます。また、CIMS（プロセス計測管理システム）とSYS-Control（フレキシブルプロセスオートメーションシステム）を搭載しており、制御、監視、リアルタイムのデータ分析が可能です。これにより、より効率的で情報に基づいた日常業務が可能になり、より効率的で正確なプロセス最適化が可能になります。EMCORE D9000は、半導体、エレクトロニクス、光学産業向けのR&D蒸着プロセスでの使用に最適な先進的な原子炉です。高温処理、幅広いオプション機能、高度な制御システム、および監視により、強力で汎用性の高いツールとなっています。蒸着およびエッチング工程において、最高レベルの精度と再現性を確保するために設計されています。