中古 VEECO / EMCORE D300 #9264313 を販売中

VEECO/EMCORE D300は、D型高電圧電子ビーム物理蒸着（EB-PVD）原子炉です。マルチジャンクション集光セル、フレキシブルセル、モジュール、商用グレードのモジュールコンポーネントなど、高品質の薄膜ソーラーアプリケーションの製造用に設計されています。VEECO D300リアクターは、マルチジャンクション・コンセントレータ・セルの処理に重要な低磁磁場を備えています。また、正確で反復可能な薄膜ソーラーアプリケーションを実現するために必要な高い均一性を提供します。この原子炉には、低源から基板への熱負荷に効果的な熱絶縁システム構成が含まれています。また、低空気ロックボリューム設計を採用しており、サーマルサイクルの短縮によるスループットの向上に役立ちます。原子炉は、最高の膜厚と層均一制御を可能にするクローズドループ温度制御システムを備えています。EMCORE D300炉には、高品質の金属および酸化物薄膜の形成に役立つ高度な光学系が装備されています。高度なDCバイアスシステムを備えており、曲面へのスムーズな堆積を可能にし、均一な多層構造の生産を可能にします。D300原子炉には、薄膜太陽電池用途に必要な高度な物理蒸着（PVD）技術も含まれています。EBメッキ、マルチゾーンPVD機能、特定の光学特性を得るためのイオン補助蒸着などがあります。VEECO/EMCORE D300炉は、最高1,000°Cの高温処理が可能です。また、自動洗浄機能を備えており、ダウンタイムを最小限に抑え、歩留まりを向上させます。さらに、VEECO D300炉は、ステンレス鋼の真空チャンバーやオーブンチャンバーなどの堅牢なコンポーネントから構成され、最高品質と信頼性を保証します。