中古 VEECO / EMCORE D300 #9142693 を販売中

VEECO/EMCORE D300は、発光ダイオード（LED）製造用に設計された急速熱処理炉です。この原子炉は、プロセス雰囲気を保護するために50 Torrに密閉されたプロセスチャンバーを備えています。また、デュアルゾーン水平または垂直サセプター装置、絶縁垂直フランジ、水平または垂直アルミナサセプターも内蔵しています。サセプタシステムは、より高い温度精度を必要とするプロセスの温度均一性を向上させることができます。このユニットは10°C〜900°Cの温度範囲を提供し、200°C/sまでの可変加熱速度で迅速な熱加熱を実現します。不活性、活性、反応性ガスで構成されたプロセス雰囲気を持ち、最大15のチューブ炉を収容できます。また、処理中の過圧/過圧を防ぐために、高圧および温度の安全モニターが装備されています。このユニットは、時間、温度、圧力、および他のいくつかのパラメータ設定を含むプロセス制御を提供します。デジタルコントロールマシンは、インプロセス情報とポストプロセス情報のデータロギングと分析を含む正確なプロセス制御を提供します。このユニットは、完全に囲まれた空冷電動工具と、長期的な耐久性を提供できるステンレス鋼構造を備えています。また、交換可能なシートLEDを備えたツインフィラメント技術も含まれており、信頼性と再現性の高いパフォーマンスを提供します。単位は容易な取付けおよび維持のために設計されています。直感的なインターフェイスにより、セットアップ、メンテナンス、操作が簡単に行えます。VEECO D300の全体的な効率評価は90％で、残留放射は10％、周囲温度は90°Fです。バックライト、昼間のランニングランプ、薄膜ディスプレイなど、さまざまなLEDアプリケーションに適用できるように設計されています。半導体材料の研究開発にも適しています。このユニットは、短時間の処理のための迅速な避難アセットと、必要に応じて高速サーマルシャットダウンのための低熱質量サセプタモデルを備えています。また、900°Cと同じくらい熱い均一な温度でシングルショットアプリケーションを提供しています。