中古 VEECO / EMCORE D180 #9224745 を販売中

VEECO/EMCORE D180は、ナノスケール蒸着用途向けに設計された最先端の反応イオンエッチング（RIE）炉です。真空蒸着とエッチングの最新技術と高度な制御アルゴリズムを組み合わせた高性能機器で、信頼性と精度を提供します。VEECO D180は、ナノメートル精度で複雑な構造や構造を実現することができます。EMCORE D-180は、より空間的に均一なエッチプロファイルを確保するために、高度なデュアルソースシールドアーキテクチャ設計を備えています。この設計は、電子ビームコラムのマルチウェーハ感受性コイルの均一性とともに、基板上の優れた層均一性と再現性をもたらします。D-180には、蒸着チャンバー全体に均一なガス流量を確保し、プロセス制御を強化するユニークなガスシステム設計も含まれています。ウェーハの高速回転により、一貫した成膜が可能となり、プロセスの信頼性が向上します。さらに、サーミスタ、ガスセンサー、ダイヤフラム、ヒーターなど、さまざまなデバイスに適したコンポーネントを備えており、正確な温度制御とチャンバへの正確なガス供給を実現しています。この機械は、電磁界の強度を制御することもでき、エネルギー分散X線 （EDX）ビームを調整することもできます。EMCORE D180は非常に構成可能で、柔軟なプロセスソフトウェア、低ノイズファンシステム、自動洗浄ステーションなどの追加機能が付属しています。これらのすべての機能とVEECO独自の設計および品質エンジニアリングを組み合わせることで、D180はナノスケール構造の正確なエッチングと成膜に使用することができます。さらに、このツールは各プロセスステーションで最大6つのプラズマ源をサポートすることができ、機械の性能と柔軟性を向上させることができます。VEECO D-180は、ハイスループットアプリケーションで最大400mm/minの速度を実現することもできます。詳細な診断とプロセスの微調整を可能にする診断室を備えており、専門の運用/保守技術者を獲得する必要がありません。VEECO/EMCORE D-180は、この資産の先進的な設計と技術を活用してナノ構造材料や層を製造することができ、メーカーは高性能な製品や部品を作成することができます。VEECO/EMCORE D180は、さまざまなナノスケールのアプリケーションに一貫した再現性のある性能と品質を提供できる高度なモデルです。