中古 VEECO / EMCORE D180 #9178724 を販売中

VEECO/EMCORE D180は、酸化物、窒化物、金属、およびケイ化物の正イオン注入および沈着のために設計された大気圧力プラズマ反応器です。これは、旋回偏向板のペアを使用して均一なガス分布を容易にする長い卵形チャンバーを備えています。その柔軟な設計は容易な修正を可能にし、従来のカム駆動設計と比較して優れたプロセスの均一性と再現性を提供します。この原子炉には、異なるインプラント要件に対応するために、可変サイズと形状の2つの黒鉛電極が装備されています。内部断熱材は、従来のイオン銃と比較して高いプロセスイオン化とインプラント強度を保証しますが、特長のある自己バイアスエミッタは、大きなプロセス変形時でも安定した放電を維持します。主なプラズマ源は、誘導結合を利用して幅広いプロセスガスをイオン化し、プロセス制御およびデータ収集ハードウェアを含みます。各電極の端面は、イオン種から電子を分離する磁場を増加させるために細長くなっています。プラズマ安定性を達成するために必要な磁場の量は、チャンバー半径の増加とともに増加し、全体のプラズマ密度がチャンバ全体で一貫して均一であることを保証します。VEECO D180は、マスフローコントローラを備えた高度なガス供給システムを備えており、正確なガス供給と選択が可能です。ガス混合物はリアルタイムで変更することができ、自動圧力調整はチャンバー圧力と基板温度を正確に制御します。システムは、完全なプロセス監視と制御のために実行中にすべての電流および電圧データをキャプチャし、イーサネット接続を介して外部監視することもできます。最後に、システムは、サンプルのポストアニーリングを可能にするアニーリングオーブンに接続することができます。低い動作温度と高度な排出制御メカニズムは、環境への影響を最小限に抑えます。その結果、EMCORE D-180は、優れた蒸着特性とプロセス能力を備えた、費用対効果の高い環境に優しいプラズマ蒸着装置です。