中古 VEECO / EMCORE D180 #293760075 を販売中

VEECO/EMCORE D180は、表面パターニング用途向けに設計された小型半導体リアクタです。これは、半導体材料の薄膜を基板に堆積させるために、前駆ガスと高エネルギー電子ビームを使用しています。この装置は、プロセスパラメータを極めて精密に制御するように設計されており、基板上にコンフォーマル薄膜を堆積する際に高い再現性と精度を確保します。VEECO D180には、7。5アンペアのビーム電流と500kVまでの加速電圧を生成する強力な電子銃が装備されています。それはより高い均等性の電子ビームのための二重陽極構成を使用します。この原子炉には、フィルム蒸着の進行を見るための石英モニター室もあり、様々な材料用途のプロセスを最適化することが容易になります。EMCORE D-180には、プロセス中断の検出時にビームを瞬時にシャットダウンする新しいプロセス連動システムが搭載されており、基板への損傷を防ぎます。このユニットは、有害物質を捕獲し、それを二次処分ユニットに輸送するように設計された効率的なファン支援アベートメントマシンを使用しています。このアベートメントツールは、HEPAフィルターとカーボンフィルターを備えており、危険物が作業エリアから効率的かつ安全に輸送されることを確認します。このアセットは、沈着プロセスを完全に制御するために「基板スキャン」などの革新的なパターニング技術を利用しています。EMCORE D180は、マスクプロセス、スキャンラインプロセス、新しい「急速な沈着プロセス」など、複数のパターン技術をサポートしています。このモデルには、蒸着プロセスが正確に監視されていることを確認するための高性能コントローラが装備されており、プロセスのパラメータが効率的に調整されて歩留まりを最大化することができます。VEECO/EMCORE D-180の設計により、MEMS製造、エレクトロニクス包装、ODIC、オプトエレクトロニクスデバイスなど、さまざまな半導体アプリケーションに非常に適しています。堅牢で安定した反復可能で費用対効果の高い生産プロセスを目的に設計されています。