中古 VEECO / EMCORE D180 GaAs #9031463 を販売中

VEECO/EMCORE D180 GaAsリアクターは、半導体産業のアプリケーションを処理するための生産グレードの高度な蒸着ツールです。この原子炉は、フォトニック、太陽電池、オプトエレクトロニクスデバイスなど、さまざまな用途に使用するための高品質のGaAsベースのコンポーネントと材料を大量に一貫して生産することができます。装置は、真空蒸着室、気化室、排気コーティングの3つの主要なコンポーネントで構成されています。真空成膜チャンバーは、基板ホルダーに取り付けられた基板を収容し、蒸発、スパッタリング、およびその他の成膜プロセスに対応するために使用されます。このチャンバーにはin-situ quartz view portsが装備されており、成長プロセスをリアルタイムで監視できます。蒸発チャンバーは、原料の供給に使用され、基板に供給されます。ガスは沈殿プロセスを助けるか、または変更するために部屋に入れることができます。エキゾーストコーティングは、蒸着チャンバ内の均一な真空圧力を維持するのに役立ち、材料蒸着に最適なプロセス条件を保証します。VEECO D180 GaAsリアクターは、最大550°Cの広い温度範囲で動作するように設計されており、金、アルミニウム、銅などの金属の高温蒸着および電気めっきを可能にします。このシステムは、成膜速度が速く、コンポーネントの高いスループットを実現します。原子炉には、他の機械やコントローラと通信するための標準的なUSBポートが装備されています。また、ビデオストリーミング、金属塩の合成、蒸着速度の直接制御などの埋め込み処理も備えており、蒸着プロセスの自動制御が可能です。この機械はすべての安全基準を満たしており、統合されたプロセス制御、水冷、安全対策、緊急停止システムなどの高度な安全設計を備えています。EMCORE D180 GaAsリアクターは使いやすく、すぐに利用可能なメンテナンスサービスがあります。このツールを使用して幅広い材料や部品を加工することができ、用途の幅をさらに広げ、半導体ベースの部品のより効率的な生産を可能にします。