中古 VEECO / EMCORE D125 #9212026 を販売中
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ID: 9212026
ヴィンテージ: 2003
MOCVD System
(2) Chillers
Semi-automatic wafer transfer
Gas delivery system
Flanges constructed of 316L stainless steel
Reactor & gas panel: With exhaust vented steel & polycarbonate cabinet panels
HEPA Filtered wafer loading area
With system cabinet
7-8 Metal organic channels (Switchable from N2 to H2 carrier gas)
3-4 Hydride channels
Standard non-emissivity corrected pyrometer included
Up to 3 2"/1 3" wafers per run capability
(4) SiC Coated wafer carriers: (2) Standard 3 x 2" / (2) Custom configurations
EBARA A70W Process pump
MKS Butterfly reactor exhaust line pressure control valve
With PID control
Turbo molecular pump / Scroll dry pump for load lock
CTC Controller with low noise analog card for T/C channel
MO & Hydride delivery SS lines
Heaters and controls
(5) MO Bath water chillers
AFFINITY / LYTRON / Equivalent heat exchanger
Turbo rotation: 1500 RPM
Safety alarm system
Control system:
Operating system: Windows 7
Personal computer (PC)
With flat panel monitor
Alarms
Routines provide unparalleled control system versatility
Spare parts:
(3) Analog cards
(2) Digital cards
(2) MFC
PCU
Baratron
ATMI CDO 862 Abatement system
Combination scrubber and burn-box
Nitride MOCVD precursors: NH3, H2, SiH4, MOs
Handling maximum D125/D180 gas flows (according to OEM specifications)
Scrubber water: Recirculated in loop
PRAXAIR (3) Bottles ULTRA PURGE ammonia gas cabinet
Internal gas network: ULTRA PURGE Controller
(2) 501b ammonia bottles
Does not include nitrogen purge bottle
Air products AP10, 24" silane gas cabinet
Touch screen controls
(2) SILANE Bottles
Indoor gas distribution panel for hydrogen and nitrogen:
Anodized aluminum: 3 ft. x 4 ft./ Smaller gas panel
Cylinder banks and nitrogen purge: Manifold with (2) hydrogen inlets
(2) Pressure regulators
(3) Check valves
(2) Inline particle filters
(8) Manual valves
High purify 1/4 inch tubing
Tees
Weldments (Orbital welding)
(2) Pressure gauges
Leak checking and certification of leak integrity
Outdoor gas distribution panel for hydrogen with nitrogen purging capability:
36 in x 9 in / Smaller anodized aluminum gas panel
Purging & switching manifolds for (2) six pack cylinders
Manual valves and (2) check valves
UHP 1/4 inch Tubing
Weldments (Orbital welding)
(2) Pressure gauges
Leak checking & certification of leak integrity
System electrical specification:
208 / 220V
50 or 60 Hz
3 φ 150 A per φ
5 Wire with GND
Gas supply specification
Type / Rating / Max flow / Mean flow
Purified H2 / 30-40-100 PSIG / 65 SLM / 30-40 SLM
Purified N2 / 80-100 PSIG / 70 SLM / 20-40 SLM
N2 House feed / 80-100 PSIG / 50 SLM / 25 SLM
CDA/N2 for pneumatics / 80-100 PSIG / 50 SLM / < 15 SLM
NHa / 40-60 PSIG / 30 SLM / -
100 ppm SiH« in UHP H2 / 20-30 PSIG / 22 SLM / -
2003 vintage.
VEECO/EMCORE D125は、高度なプロセス開発、学術研究、および生産規模の製造業務を支援するために設計された汎用原子炉装置です。VEECO D125は、異種触媒プロセスおよびナノ材料アプリケーションで一般的に使用される高度なホットウォール技術を統合しています。この原子炉システムは、正確な温度、圧力、および居住時間制御を可能にするために特別に最適化されています。EMCORE D125のモジュール設計により、ユーザーのアプリケーションニーズに最適なカスタム構成が可能です。220°Cまでの最高温度と22 barまでの内部圧力を備えた統合された加熱壁の設備を備えています。加熱された壁は、壁からプロセスへの効率的な熱伝達を可能にする環状スリットで構成されています。適応可能なモジュラーアーキテクチャにより、デバイスを変更してバッチ処理と連続処理の両方をサポートできます。さらに、原子炉の全体的な設計と調整は簡単であり、異なる原子炉のサイズ、温度、圧力、および居住時間に対応するように簡単に構成することができます。D125は、手動から自動制御まで、さまざまなプロセス制御オプションをユーザーに提供し、複雑なプロセスの開発を容易かつ柔軟に行うことができます。自動化された制御システムは、キーパラメータを監視し、設定を調整し、再現可能な結果をもたらすデータロギングを組み込むことができます。プロセスタイムラインシミュレーションは、サイクルテンプのランピングや圧力の増加/減少などの繰り返し戦略のためにプログラムすることができます。高いプロセス感度を必要とする操作のために、VEECO/EMCORE D125は、安全シャットダウンなど、一般的に提供されているものを超えた完全なハザードコントロールと対策を提供するように構成することができます。VEECO D125には、業界やアプリケーションにわたる幅広いアプリケーションがあります。UV-Vis分光、シンチレーション・カウント、めっき工程に展開できます。さらに、このユニットは、質量分析、クロマトグラフィー、および電気化学的特性評価および創薬に使用されます。EMCORE D125は、生化学産業における医薬品、カーボンナノチューブ、およびその他のタンパク質の製造に適しています。また、ナノマテリアルの合成には、非常に高温、高流量、または長時間の反応時間が必要となることが多い。全体として、D125は、高度なプロセス開発、学術研究、および性能主導の生産アプリケーションをサポートするために最適化された柔軟で堅牢で信頼性の高い原子炉機械です。高性能なモジュラー設計により、統合された制御、正確な温度、圧力、および居住時間制御、生産性の向上、および安全機能の向上により、信頼性、再現性、および再現性の高いプロセス結果が保証されます。
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